He aha ka TGV?
TGV, (Ma o ke aniani ma o), he ʻenehana no ka hana ʻana i nā lua ma luna o kahi substrate aniani, I nā huaʻōlelo maʻalahi, he hale kiʻekiʻe ʻo TGV e kuʻi, hoʻopiha a hoʻohui i luna a i lalo o ke aniani e kūkulu i nā kaapuni i hoʻohui ʻia ma ka papahele aniani. Ua manaʻo ʻia kēia ʻenehana he ʻenehana koʻikoʻi no ka hanauna e hiki mai ana o ka hoʻopili 3D.
He aha nā ʻano o TGV?
1. ʻAno: He lua alakaʻi komo kū pololei ʻo TGV i hana ʻia ma luna o kahi substrate aniani. Ma ke kau ʻana i kahi papa metala alakaʻi ma ka paia pore, ua pili pū nā papa o luna a me lalo o nā hōʻailona uila.
2. Ke kaʻina hana: Hoʻokomo pū ka hana ʻana o TGV i ka mālama mua ʻana i ka substrate, ka hana ʻana i nā lua, ka waiho ʻana o nā papa metala, ka hoʻopiha ʻana i nā lua a me nā ʻanuʻu hoʻopālahalaha. ʻO nā ʻano hana hana maʻamau ka etching kemika, ka ʻeli laser, ka electroplating a pēlā aku.
3. Nā pono o ka hoʻohana ʻana: Ke hoʻohālikelike ʻia me ka metala kuʻuna ma o ka lua, loaʻa iā TGV nā pono o ka liʻiliʻi o ka nui, ka nui o ka uea, ka hana hoʻoheheʻe wela maikaʻi a pēlā aku. Hoʻohana nui ʻia i ka microelectronics, optoelectronics, MEMS a me nā kahua ʻē aʻe o ka pilina kiʻekiʻe.
4. Ke ʻano hoʻomohala: Me ka hoʻomohala ʻana o nā huahana uila i ka miniaturization a me ka hoʻohui kiʻekiʻe, ke loaʻa nei ka ʻenehana TGV i ka nānā nui ʻia a me ka hoʻohana ʻana. I ka wā e hiki mai ana, e hoʻomau ʻia ka hoʻonui ʻia ʻana o kāna kaʻina hana, a e hoʻomau ʻia ka hoʻomaikaʻi ʻana o kona nui a me ka hana.
He aha ke kaʻina hana TGV:
1. Ka hoʻomākaukau ʻana i ka substrate aniani (a): E hoʻomākaukau i kahi substrate aniani i ka hoʻomaka ʻana e hōʻoia i ka laumania a me ka maʻemaʻe o kona ʻili.
2. ʻEli aniani (b): Hoʻohana ʻia ka laser e hana i kahi lua komo i loko o ke aniani. ʻO ke ʻano o ka lua he conical maʻamau, a ma hope o ka mālama ʻana i ka laser ma kekahi ʻaoʻao, ua hoʻohuli ʻia a hana ʻia ma kekahi ʻaoʻao.
3. Hoʻoheheʻe ʻia ka paia o ka lua (c): Hana ʻia ka hoʻoheheʻe ʻia ma ka paia o ka lua, ma o ka PVD, CVD a me nā kaʻina hana ʻē aʻe e hana i kahi papa hua metala alakaʻi ma ka paia o ka lua, e like me Ti/Cu, Cr/Cu, a pēlā aku.
4. Lithography (d): Ua uhi ʻia ka ʻili o ke aniani me ka photoresist a me nā photopatterned. E hōʻike i nā ʻāpana ʻaʻole pono ke uhi ʻia, i ʻike wale ʻia nā ʻāpana e pono ai ke uhi ʻia.
5. Hoʻopiha lua (e): Ke keleawe uila e hoʻopiha i ke aniani ma o nā lua e hana i kahi ala alakaʻi piha. Pono maʻamau e hoʻopiha piha ʻia ka lua me ka ʻole o nā lua. E hoʻomaopopo ʻaʻole i piha piha ka Cu ma ke kiʻikuhi.
6. ʻIli pālahalaha o ke substrate (f): E hoʻopālahalaha kekahi mau kaʻina hana TGV i ka ʻili o ke aniani i hoʻopiha ʻia e hōʻoia i ka laumania o ka ʻili o ke substrate, kahi e kūpono ai i nā ʻanuʻu hana ma hope.
7. Papa pale a me ka pilina hope (g): Hoʻokumu ʻia kahi papa pale (e like me ka polyimide) ma luna o ka ʻili o ke aniani.
I ka pōkole, he mea koʻikoʻi kēlā me kēia ʻanuʻu o ke kaʻina hana TGV a pono e kāohi pololei a me ka hoʻonui ʻana. Ke hāʻawi nei mākou i kēia manawa i ka ʻenehana aniani TGV ma o ka lua inā pono. E ʻoluʻolu e hoʻokaʻaʻike mai iā mākou!
(ʻO nā ʻike ma luna mai ka Pūnaewele, ke kāohi ʻana)
Ka manawa hoʻouna: Iune-25-2024