Ka Hoʻomaopopo Hohonu o ka Pūnaehana SPC ma ka Wafer Manufacturing

1. Nānā o ka Pūnaehana SPC

ʻO SPC kahi ala e hoʻohana ai i nā ʻenehana helu e nānā a mālama i nā kaʻina hana. ʻO kāna hana koʻikoʻi ka ʻike ʻana i nā anomalies i ke kaʻina hana ma ka hōʻiliʻili ʻana a me ka nānā ʻana i ka ʻikepili i ka manawa maoli, e kōkua ana i nā ʻenekini e hana i nā hoʻoponopono a me nā hoʻoholo i ka manawa. ʻO ka pahuhopu o SPC e hōʻemi i ka hoʻololi ʻana i ke kaʻina hana, e hōʻoia i ka paʻa o ka huahana a hoʻokō i nā kikoʻī.

Hoʻohana ʻia ʻo SPC i ke kaʻina hana etching e:

Mākaʻikaʻi i nā ʻāpana koʻikoʻi (e laʻa, etch rate, mana RF, kaomi keʻena, wela, etc.)

E noʻonoʻo i nā hōʻailona koʻikoʻi o ka huahana (e laʻa, linewidth, etch depth, etch roughness, etc.)

Ma ka nānā ʻana i kēia mau ʻāpana, hiki i nā ʻenekini ke ʻike i nā ʻano e hōʻike ana i ka hoʻohaʻahaʻa ʻana i ka hana o nā mea hana a i ʻole ka hoʻokaʻawale ʻana i ke kaʻina hana, no laila e hōʻemi ana i nā helu scrap.

2. Nā ʻāpana kumu o ka Pūnaehana SPC

Hoʻokumu ʻia ka ʻōnaehana SPC i kekahi mau modula nui:

Module Ohiʻikepili: E hōʻiliʻili i ka ʻikepili manawa maoli mai nā lako a me nā kahe kaʻina hana (e laʻa, ma o FDC, ʻōnaehana EES) a hoʻopaʻa i nā ʻāpana koʻikoʻi a me nā hopena hana.

Mana Mana Mana: Hoʻohana i nā palapala hoʻomalu helu helu (e laʻa, pakuhi X-Bar, pakuhi R, pakuhi Cp/Cpk) e ʻike i ka paʻa o ke kaʻina hana a kōkua i ka hoʻoholo ʻana i ka mana o ke kaʻina hana.

Pūnaehana Alarm: Hoʻoulu i nā mea hoʻāla inā ʻoi aku ka nui o nā palena koʻikoʻi i nā palena mana a i ʻole hōʻike i nā loli ʻano, e koi ana i nā ʻenekinia e hana.

Kānāwai a me ka hōʻike Module: Nānā i ke kumu kumu o nā anomalies e pili ana i nā palapala SPC a hana mau i nā hōʻike hana no ke kaʻina hana a me nā mea hana.

3. Ka wehewehe kikoʻī o nā palapala hoʻomalu ma SPC

ʻO nā palapala hoʻomalu kekahi o nā mea hana maʻamau i hoʻohana ʻia ma SPC, e kōkua ana i ka hoʻokaʻawale ʻana ma waena o "ka hoʻololi maʻamau" (ma muli o nā ʻano hana kūlohelohe) a me "ka hoʻololi ʻokoʻa" (ma muli o ka hāʻule ʻana o nā lako a i ʻole ka hoʻololi ʻana o ke kaʻina hana). Aia nā palapala hoʻomalu maʻamau:

X-Bar a me R Charts: Hoʻohana ʻia e nānā i ka mean a me ka laulā i loko o nā pūʻulu hana e nānā inā paʻa ke kaʻina hana.

Nā Hōʻike Cp a me Cpk: Hoʻohana ʻia e ana i ka hiki ke kaʻina hana, ʻo ia hoʻi, inā hiki i ke kaʻina hana ke hoʻokō mau i nā koi kikoʻī. Hoʻopili ʻo Cp i ka hiki ke hiki, ʻoiai ʻo Cpk e noʻonoʻo i ka ʻae ʻana o ke kikowaena kaʻina hana mai nā palena kikoʻī.

No ka laʻana, i ke kaʻina hana etching, hiki iā ʻoe ke nānā i nā ʻāpana e like me ka etch rate a me ka ʻili o ka ʻili. Inā ʻoi aku ka nui o ka etch rate o kekahi ʻāpana i ka palena o ka mana, hiki iā ʻoe ke hoʻohana i nā palapala hoʻomalu e hoʻoholo ai inā he ʻano kūlohelohe kēia a i ʻole he hōʻailona o ka hana ʻino ʻana o nā lako.

4. Noi o SPC ma Etching Equipment

I ke kaʻina hana etching, he mea koʻikoʻi ka hoʻomalu ʻana i nā ʻāpana mea hana, a kōkua ʻo SPC i ka hoʻomaikaʻi ʻana i ka paʻa o ke kaʻina hana ma kēia mau ala:

Nānā Kūlana Lako: ʻO nā ʻōnaehana e like me FDC e hōʻiliʻili i ka ʻikepili i ka manawa maoli ma nā ʻāpana koʻikoʻi o nā lako etching (e laʻa, mana RF, kahe kinoea) a hoʻohui i kēia ʻikepili me nā palapala hoʻomalu SPC e ʻike i nā pilikia lako. No ka laʻana, inā ʻike ʻoe i ka neʻe ʻana o ka mana RF ma ka pakuhi kaohi mai ka waiwai i hoʻonohonoho ʻia, hiki iā ʻoe ke hana mua no ka hoʻoponopono ʻana a i ʻole ka mālama ʻana e pale aku i ka hopena o ka maikaʻi o ka huahana.

Ka nānā ʻana i ka maikaʻi o nā huahana: Hiki iā ʻoe ke hoʻokomo i nā ʻāpana koʻikoʻi o ka huahana (e laʻa, etch depth, linewidth) i loko o ka ʻōnaehana SPC e nānā i ko lākou kūpaʻa. Inā haʻalele mālie kekahi mau hōʻailona huahana koʻikoʻi mai nā kumu waiwai, e hoʻopuka ka ʻōnaehana SPC i kahi alarm, e hōʻike ana he pono nā hoʻoponopono kaʻina.

Maintenance Preventive (PM): Hiki i ka SPC ke kōkua i ka hoʻoikaika ʻana i ka pōʻaiapuni pale pale no nā lako. Ma ke kālailai ʻana i ka ʻikepili lōʻihi e pili ana i ka hana ʻana o nā mea hana a me nā hopena kaʻina hana, hiki iā ʻoe ke hoʻoholo i ka manawa kūpono no ka mālama ʻana i nā mea hana. No ka laʻana, ma ka nānā ʻana i ka mana RF a me ke ola ESC, hiki iā ʻoe ke hoʻoholo i ka wā e pono ai ka hoʻomaʻemaʻe ʻana a i ʻole ka hoʻololi ʻana i nā mea, e hōʻemi ana i nā helu hemahema o nā mea hana a me ka manawa hana.

5. Nā Manaʻo Hoʻohana i kēlā me kēia lā no ka Pūnaewele SPC

I ka hoʻohana ʻana i ka ʻōnaehana SPC i nā hana o kēlā me kēia lā, hiki ke hahai ʻia kēia mau ʻanuʻu:

E wehewehe i nā ʻāpana mana koʻikoʻi (KPI): E ʻike i nā ʻāpana koʻikoʻi i ka hana hana a hoʻokomo iā lākou i ka nānā ʻana SPC. Pono e pili pono kēia mau ʻāpana i ka maikaʻi o ka huahana a me ka hana ʻana o nā mea hana.

E hoʻonohonoho i nā palena hoʻomalu a me nā palena alaala: Ma muli o ka ʻikepili mōʻaukala a me nā koi kaʻina hana, hoʻonohonoho i nā palena mana kūpono a me nā palena hoʻāla no kēlā me kēia ʻāpana. Hoʻonohonoho pinepine ʻia nā palena hoʻomalu ma ± 3σ (nā hoʻololi maʻamau), ʻoiai ke kau ʻia nā palena hoʻāla i nā kūlana kikoʻī o ke kaʻina hana a me nā mea hana.

Ka nānā mau a me ka nānā ʻana: E nānā mau i nā palapala hoʻomalu SPC no ka nānā ʻana i nā ʻano ʻikepili a me nā ʻano like ʻole. Inā ʻoi aku kekahi mau palena i nā palena mana, pono e hana koke, e like me ka hoʻoponopono ʻana i nā ʻāpana mea hana a i ʻole ka mālama ʻana i nā mea hana.

Ka Hana Hana ʻAʻole a me ka ʻAha Ke kumu: Ke loaʻa kahi mea ʻino, hoʻopaʻa ka ʻōnaehana SPC i ka ʻike kikoʻī e pili ana i ka hanana. Pono ʻoe e hoʻoponopono a hoʻopaʻa i ke kumu kumu o ka ʻino ma muli o kēia ʻike. Hiki pinepine ke hoʻohui i ka ʻikepili mai nā ʻōnaehana FDC, nā ʻōnaehana EES, a me nā mea ʻē aʻe, no ka nānā ʻana inā ʻo ka pilikia ma muli o ka hemahema o nā lako, ka hoʻokaʻawale ʻana i ke kaʻina hana, a i ʻole nā ​​kumu kūlohelohe o waho.

Hoʻomaikaʻi mau: Ke hoʻohana nei i ka ʻikepili mōʻaukala i hoʻopaʻa ʻia e ka ʻōnaehana SPC, e ʻike i nā wahi nāwaliwali o ke kaʻina hana a hoʻolālā i nā hoʻolālā hoʻomaikaʻi. No ka laʻana, i ke kaʻina hana etching, e nānā i ka hopena o ke ola o ka ESC a me nā ʻano hoʻomaʻemaʻe i nā pōʻai mālama pono a hoʻomau mau i nā ʻāpana hana.

6. Hihia Laikini Laikini

Ma ke ʻano he laʻana kūpono, e manaʻo paha ʻoe ke kuleana no ka lako etching E-MAX, a ke ʻike nei ka cathode keʻena i ka ʻaʻahu mua, e alakaʻi ana i ka piʻi ʻana o nā waiwai D0 (BARC defect). Ma ka nānā ʻana i ka mana RF a me ka helu etch ma o ka ʻōnaehana SPC, ʻike ʻoe i kahi ʻano kahi e haʻalele mālie ai kēia mau ʻāpana mai kā lākou mau waiwai. Ma hope o ka hoʻāla ʻia ʻana o kahi alarm SPC, hoʻohui ʻoe i ka ʻikepili mai ka ʻōnaehana FDC a hoʻoholo i ke kumu o ka pilikia ma muli o ka mālama ʻana i ka wela i loko o ke keʻena. A laila hoʻokō ʻoe i nā ʻano hoʻomaʻemaʻe hou a me nā hoʻolālā mālama, e hōʻemi i ka waiwai D0 mai 4.3 a i 2.4, a laila e hoʻomaikaʻi ai i ka maikaʻi o ka huahana.

7.Ma XINKEHUI hiki iā ʻoe ke loaʻa.

Ma XINKEHUI, hiki iā ʻoe ke hoʻokō i ka wafer maikaʻi loa, inā he wafer silika a i ʻole he wafer SiC. Hoʻolaha mākou i ka hāʻawi ʻana i nā wafers kiʻekiʻe no nā ʻoihana like ʻole, e kālele ana i ka pololei a me ka hana.