Ka Hoʻomaopopo Loa ʻana i ka ʻŌnaehana SPC ma ka Hana ʻana o Wafer

1. ʻIke holoʻokoʻa o ka ʻōnaehana SPC

He ʻano hana ʻo SPC e hoʻohana ana i nā ʻano hana helu e nānā a kāohi i nā kaʻina hana. ʻO kāna hana nui ka ʻike ʻana i nā ʻano ʻē i ke kaʻina hana ma o ka hōʻiliʻili ʻana a me ka nānā ʻana i ka ʻikepili manawa maoli, e kōkua ana i nā ʻenekinia e hana i nā hoʻoponopono a me nā hoʻoholo kūpono i ka manawa. ʻO ka pahuhopu o SPC ka hōʻemi ʻana i ka ʻokoʻa i ke kaʻina hana, e hōʻoia ana i ka paʻa o ka maikaʻi o ka huahana a hoʻokō i nā kikoʻī.

Hoʻohana ʻia ka SPC i ke kaʻina hana etching i:

E nānā i nā palena koʻikoʻi o nā lako (e laʻa, ka wikiwiki o ke kālai ʻana, ka mana RF, ke kaomi o ke keʻena, ka mahana, a pēlā aku)

E kālailai i nā ʻōkuhi koʻikoʻi o ka maikaʻi o ka huahana (e laʻa, ka laulā laina, ka hohonu o ke kahakaha ʻana, ka ʻoʻoleʻa o ka lihi, a pēlā aku)

Ma ka nānā ʻana i kēia mau palena, hiki i nā ʻenekinia ke ʻike i nā ʻano e hōʻike ana i ka hōʻemi ʻana o ka hana o nā lako a i ʻole nā ​​​​​​ʻokoʻa i ke kaʻina hana, a pēlā e hōʻemi ai i nā helu ʻōpala.

2. Nā ʻĀpana Kumu o ka ʻŌnaehana SPC

Hoʻokumu ʻia ka ʻōnaehana SPC i kekahi mau modula koʻikoʻi:

Modula Hōʻiliʻili ʻIkepili: Hōʻiliʻili i ka ʻikepili manawa maoli mai nā lako a me nā kahe o ke kaʻina hana (e laʻa, ma o FDC, nā ʻōnaehana EES) a hoʻopaʻa i nā palena koʻikoʻi a me nā hopena hana.

Modula Pakuhi Mana: Hoʻohana i nā pakuhi mana helu (e laʻa, pakuhi X-Bar, pakuhi R, pakuhi Cp/Cpk) e nānā i ke kūpaʻa o ke kaʻina hana a kōkua i ka hoʻoholo ʻana inā aia ke kaʻina hana i ka mana.

ʻŌnaehana Alarm: Hoʻāla i nā alarm ke ʻoi aku nā palena koʻikoʻi ma mua o nā palena kaohi a hōʻike paha i nā loli o ke au, e koi ana i nā ʻenekinia e hana.

Module Nānā a me ka Hōʻike: Nānā i ke kumu o nā anomalies e pili ana i nā pakuhi SPC a hana pinepine i nā hōʻike hana no ke kaʻina hana a me nā lako.

3. Ka Wehewehe Kikoʻī o nā Palapala Hoʻomalu ma SPC

ʻO nā pakuhi hoʻomalu kekahi o nā mea hana i hoʻohana pinepine ʻia ma SPC, e kōkua ana i ka hoʻokaʻawale ʻana ma waena o ka "ʻokoʻa maʻamau" (i hoʻokumu ʻia e nā ʻokoʻa kaʻina hana kūlohelohe) a me ka "ʻokoʻa maʻamau" (i hoʻokumu ʻia e nā hemahema o nā lako a i ʻole nā ​​​​​​ʻokoʻa kaʻina hana). ʻO nā pakuhi hoʻomalu maʻamau:

Nā Pakuhi X-Bar a me R: Hoʻohana ʻia e nānā i ka awelika a me ka laulā i loko o nā ʻāpana hana e nānā inā paʻa ke kaʻina hana.

Nā ʻōkuhi Cp a me Cpk: Hoʻohana ʻia e ana i ka hiki ke hana, ʻo ia hoʻi, inā hiki i ka hopena hana ke hoʻokō mau i nā koi kikoʻī. Ana ʻo Cp i ka hiki ke hiki, ʻoiai ʻo Cpk e noʻonoʻo ana i ka ʻokoʻa o ke kikowaena hana mai nā palena kikoʻī.

No ka laʻana, i ke kaʻina hana etching, hiki iā ʻoe ke nānā i nā palena e like me ka wikiwiki o ke etching a me ka ʻoʻoleʻa o ka ʻili. Inā ʻoi aku ka wikiwiki o ke etching o kahi ʻāpana lako ma mua o ka palena kaohi, hiki iā ʻoe ke hoʻohana i nā pakuhi kaohi e hoʻoholo ai inā he ʻano kūlohelohe kēia a i ʻole he hōʻailona o ka hana hewa ʻana o nā lako.

4. Hoʻohana ʻia ʻana o SPC i nā lako hana etching

I ke kaʻina hana etching, he mea koʻikoʻi ka kaohi ʻana i nā palena o nā lako, a kōkua ʻo SPC i ka hoʻomaikaʻi ʻana i ke kūpaʻa o ke kaʻina hana ma nā ʻano penei:

Nānā ʻana i ke Kūlana o nā Lako: ʻO nā ʻōnaehana e like me FDC e hōʻiliʻili i ka ʻikepili manawa maoli ma nā palena koʻikoʻi o nā lako etching (e laʻa, ka mana RF, ke kahe kinoea) a hoʻohui i kēia ʻikepili me nā pakuhi mana SPC e ʻike i nā pilikia lako. No ka laʻana, inā ʻike ʻoe e neʻe mālie ana ka mana RF ma kahi pakuhi mana mai ka waiwai i hoʻonohonoho ʻia, hiki iā ʻoe ke hana mua no ka hoʻoponopono ʻana a i ʻole ka mālama ʻana e pale aku i ka hoʻopilikia ʻana i ka maikaʻi o ka huahana.

Ka Nānā ʻana i ka Kūlana Huahana: Hiki iā ʻoe ke hoʻokomo i nā palena koʻikoʻi o ka maikaʻi o ka huahana (e laʻa, ka hohonu o ke kahakaha ʻana, ka laulā o ka laina) i loko o ka ʻōnaehana SPC e nānā i ko lākou kūpaʻa. Inā haʻalele mālie kekahi mau hōʻailona huahana koʻikoʻi mai nā waiwai i manaʻo ʻia, e hoʻopuka ka ʻōnaehana SPC i kahi alarm, e hōʻike ana he pono nā hoʻoponopono kaʻina hana.

Mālama Palekana (PM): Hiki i ka SPC ke kōkua i ka hoʻonui ʻana i ke kaʻina hana mālama pale no nā lako. Ma ka nānā ʻana i ka ʻikepili lōʻihi e pili ana i ka hana o nā lako a me nā hopena o ke kaʻina hana, hiki iā ʻoe ke hoʻoholo i ka manawa kūpono no ka mālama ʻana i nā lako. No ka laʻana, ma ka nānā ʻana i ka mana RF a me ke ola o ka ESC, hiki iā ʻoe ke hoʻoholo i ka wā e pono ai ka hoʻomaʻemaʻe a i ʻole ka hoʻololi ʻana i nā ʻāpana, e hōʻemi ana i nā helu hāʻule o nā lako a me ka manawa hana ʻole.

5. Nā Manaʻo Hoʻohana i kēlā me kēia lā no ka ʻōnaehana SPC

I ka hoʻohana ʻana i ka ʻōnaehana SPC i nā hana o kēlā me kēia lā, hiki ke hahai ʻia nā hana aʻe:

E Wehewehe i nā Palena Mana Koʻikoʻi (KPI): E ʻike i nā palena koʻikoʻi loa i ke kaʻina hana a hoʻokomo iā lākou i ka nānā ʻana o SPC. Pono e pili pono kēia mau palena i ka maikaʻi o ka huahana a me ka hana o nā lako.

Hoʻonohonoho i nā Palena Mana a me nā Palena Alarm: Ma muli o ka ʻikepili mōʻaukala a me nā koi kaʻina hana, e hoʻonohonoho i nā palena mana kūpono a me nā palena alarm no kēlā me kēia palena. Hoʻonohonoho pinepine ʻia nā palena mana ma ±3σ (nā ʻokoʻa maʻamau), ʻoiai ua hoʻokumu ʻia nā palena alarm ma nā kūlana kikoʻī o ke kaʻina hana a me nā lako.

Ka Nānā Mau ʻana a me ka Nānā ʻana: E nānā mau i nā pakuhi kaohi SPC e kālailai i nā ʻano a me nā ʻano like ʻole o ka ʻikepili. Inā ʻoi aku kekahi mau palena ma mua o nā palena kaohi, pono ka hana koke, e like me ka hoʻoponopono ʻana i nā palena o nā lako a i ʻole ka mālama ʻana i nā lako.

Ka lawelawe ʻana i nā mea ʻē aʻe a me ke kālailai ʻana i ke kumu o ke kumu: Ke loaʻa kahi mea ʻē, hoʻopaʻa ka ʻōnaehana SPC i ka ʻike kikoʻī e pili ana i ka hanana. Pono ʻoe e hoʻoponopono a kālailai i ke kumu o ka mea ʻē ma muli o kēia ʻike. Hiki pinepine ke hoʻohui i ka ʻikepili mai nā ʻōnaehana FDC, nā ʻōnaehana EES, a me nā mea ʻē aʻe, e kālailai inā paha ma muli o ka hāʻule ʻana o nā lako, ka ʻokoʻa o ke kaʻina hana, a i ʻole nā ​​​​​​mea o waho o ke kaiapuni ka pilikia.

Hoʻomaikaʻi Mau: Ma ka hoʻohana ʻana i ka ʻikepili mōʻaukala i hoʻopaʻa ʻia e ka ʻōnaehana SPC, e ʻike i nā wahi nāwaliwali i ke kaʻina hana a hāpai i nā hoʻolālā hoʻomaikaʻi. No ka laʻana, i ke kaʻina hana etching, e kālailai i ka hopena o ke ola o ka ESC a me nā ʻano hoʻomaʻemaʻe i nā pōʻaiapuni mālama lako a hoʻomau i ka hoʻomaikaʻi ʻana i nā palena hana o nā lako.

6. Hihia Hoʻohana Kūpono

Ma ke ʻano he laʻana kūpono, e noʻonoʻo ʻoe ke kuleana no nā lako etching E-MAX, a ke ʻike nei ka cathode chamber i ka ʻaʻahu mua ʻana, e alakaʻi ana i ka piʻi ʻana o nā waiwai D0 (BARC defect). Ma ka nānā ʻana i ka mana RF a me ka helu etch ma o ka ʻōnaehana SPC, ʻike ʻoe i kahi ʻano kahi e haʻalele mālie ai kēia mau palena mai kā lākou mau waiwai i hoʻonohonoho ʻia. Ma hope o ka hoʻāla ʻia ʻana o kahi alarm SPC, hoʻohui ʻoe i ka ʻikepili mai ka ʻōnaehana FDC a hoʻoholo ua hoʻokumu ʻia ka pilikia e ka kaohi mahana paʻa ʻole i loko o ke keʻena. A laila hoʻokō ʻoe i nā ʻano hoʻomaʻemaʻe hou a me nā hoʻolālā mālama, e hōʻemi ana i ka waiwai D0 mai 4.3 a i 2.4, no laila e hoʻomaikaʻi ana i ka maikaʻi o ka huahana.

7.Ma XINKEHUI hiki iā ʻoe ke loaʻa.

Ma XINKEHUI, hiki iā ʻoe ke hoʻokō i ka wafer kūpono, inā he wafer silicon a i ʻole he wafer SiC. He loea mākou i ka hāʻawi ʻana i nā wafers kiʻekiʻe loa no nā ʻoihana like ʻole, e kālele ana i ka pololei a me ka hana.