I ke kaʻina hana hoʻomohala nui o ka ʻoihana semiconductor, ua hoʻopili ʻia ke kristal hoʻokahinā wafers siliconhe kuleana koʻikoʻi ko lākou. Hana lākou ma ke ʻano he mea nui no ka hana ʻana i nā mea microelectronic like ʻole. Mai nā kaapuni hoʻohui paʻakikī a pololei hoʻi i nā microprocessors wikiwiki a me nā sensor multifunctional, kristal hoʻokahi i hoʻopili ʻianā wafers siliconhe mea nui. ʻO nā ʻokoʻa o kā lākou hana a me nā kikoʻī e pili pololei ana i ka maikaʻi a me ka hana o nā huahana hope loa. Aia ma lalo nā kikoʻī maʻamau a me nā palena o nā wafers silicon kristal hoʻokahi i wili ʻia:

Anawaena: Ana ʻia ka nui o nā wafers silicon kristal hoʻokahi semiconductor e ko lākou anawaena, a loaʻa iā lākou nā ʻano kikoʻī like ʻole. ʻO nā anawaena maʻamau he 2 ʻīniha (50.8mm), 3 ʻīniha (76.2mm), 4 ʻīniha (100mm), 5 ʻīniha (125mm), 6 ʻīniha (150mm), 8 ʻīniha (200mm), 12 ʻīniha (300mm), a me 18 ʻīniha (450mm). Kūpono nā anawaena like ʻole no nā pono hana like ʻole a me nā koi hana. No ka laʻana, hoʻohana pinepine ʻia nā wafers anawaena liʻiliʻi no nā mea hana microelectronic kūikawā, liʻiliʻi, ʻoiai ʻo nā wafers anawaena nui e hōʻike ana i ka pono hana kiʻekiʻe a me nā pono kumukūʻai i ka hana kaapuni hoʻohui nui. Hoʻokaʻawale ʻia nā koi ʻili ma ke ʻano he poli ʻaoʻao hoʻokahi (SSP) a me ka poli ʻaoʻao pālua (DSP). Hoʻohana ʻia nā wafers poli ʻaoʻao hoʻokahi no nā mea e pono ai ka pālahalaha kiʻekiʻe ma kekahi ʻaoʻao, e like me kekahi mau mea ʻike. Hoʻohana pinepine ʻia nā wafers poli ʻaoʻao pālua no nā kaapuni hoʻohui a me nā huahana ʻē aʻe e pono ai ka pololei kiʻekiʻe ma nā ʻili ʻelua. Pono ʻIli (Hoʻopau): SSP i hoʻopili ʻia ʻaoʻao hoʻokahi / DSP i hoʻopili ʻia ʻaoʻao pālua.

ʻAno/Dopant: (1) Semiconductor ʻano-N: Ke hoʻokomo ʻia kekahi mau ʻātoma haumia i loko o ka semiconductor kūloko, hoʻololi lākou i kona conductivity. No ka laʻana, ke hoʻohui ʻia nā mea pentavalent e like me ka nitrogen (N), phosphorus (P), arsenic (As), a i ʻole antimony (Sb), hana kā lākou mau electrons valence i nā pilina covalent me nā electrons valence o nā ʻātoma silicon a puni, e waiho ana i kahi electron keu ʻaʻole i hoʻopaʻa ʻia e kahi pilina covalent. ʻO ka hopena kēia i kahi nui o ka electron ma mua o ka nui o ka lua, e hana ana i kahi semiconductor ʻano-N, i ʻike ʻia hoʻi he semiconductor ʻano-elektron. He mea koʻikoʻi nā semiconductors ʻano-N i ka hana ʻana i nā mea hana e pono ai nā electrons ma ke ʻano he mau mea lawe ukana nui, e like me kekahi mau mea mana. (2) Semiconductor ʻano-P: Ke hoʻokomo ʻia nā mea haumia trivalent e like me ka boron (B), gallium (Ga), a i ʻole indium (In) i loko o ka semiconductor silicon, hana nā electrons valence o nā ʻātoma haumia i nā pilina covalent me nā ʻātoma silicon a puni, akā nele lākou i hoʻokahi electron valence a ʻaʻole hiki ke hana i kahi pilina covalent piha. ʻO kēia ke alakaʻi ʻana i kahi nui o ka lua ma mua o ka nui o ka electron, e hana ana i kahi semiconductor ʻano-P, i ​​ʻike ʻia hoʻi he semiconductor ʻano-lua. He kuleana koʻikoʻi nā semiconductors ʻano-P i ka hana ʻana i nā mea hana kahi e lawelawe ai nā lua ma ke ʻano he mau mea lawe ukana nui, e like me nā diode a me kekahi mau transistors.

ʻO ke kū'ē ʻana: ʻO ke kū'ē ʻana kahi nui kino koʻikoʻi e ana i ka conductivity uila o nā wafers silicon kristal hoʻokahi i wili ʻia. Hōʻike kona waiwai i ka hana conductive o ka mea. ʻO ka haʻahaʻa o ka resistivity, ʻoi aku ka maikaʻi o ka conductivity o ka wafer silicon; i ka ʻaoʻao ʻē aʻe, ʻoi aku ke kiʻekiʻe o ka resistivity, ʻoi aku ka maikaʻi ʻole o ka conductivity. Hoʻoholo ʻia ka resistivity o nā wafers silicon e ko lākou mau waiwai mea kūlohelohe, a he hopena koʻikoʻi nō hoʻi ka mahana. Ma keʻano laulā, piʻi ka resistivity o nā wafers silicon me ka mahana. I nā noi hana, he ʻokoʻa nā koi resistivity o nā mea microelectronic like ʻole no nā wafers silicon. No ka laʻana, pono nā wafers i hoʻohana ʻia i ka hana kaapuni hoʻohui i ka kaohi pololei o ka resistivity e hōʻoia i ka hana paʻa a hilinaʻi hoʻi o ka mea hana.

Kuhikuhi: Hōʻike ke kuhikuhi kristal o ka wafer i ke kuhikuhi kristalographic o ka silicon lattice, i kuhikuhi pinepine ʻia e nā ʻōkuhi Miller e like me (100), (110), (111), a pēlā aku. He ʻokoʻa nā ʻano kino o nā kuhikuhi kristal like ʻole, e like me ka nui o ka laina, kahi e loli ai ma muli o ke kuhikuhi. Hiki i kēia ʻokoʻa ke hoʻopilikia i ka hana o ka wafer i nā ʻanuʻu hana ma hope a me ka hana hope o nā mea microelectronic. I ke kaʻina hana hana, ʻo ke koho ʻana i kahi wafer silicon me ke kuhikuhi kūpono no nā koi mea like ʻole hiki ke hoʻonui i ka hana o ka mea hana, hoʻomaikaʻi i ka pono hana, a hoʻonui i ka maikaʻi o ka huahana.

Pālahalaha/Notch: ʻO ka lihi pālahalaha (Flat) a i ʻole V-notch (Notch) ma ke anapuni o ka wafer silicon he kuleana koʻikoʻi ia i ka hoʻonohonoho ʻana o ke aniani a he mea hōʻike koʻikoʻi ia i ka hana ʻana a me ka hana ʻana o ka wafer. Pili nā wafers o nā diameters like ʻole i nā kūlana like ʻole no ka lōʻihi o ka Flat a i ʻole Notch. Ua hoʻokaʻawale ʻia nā lihi hoʻonohonoho i ka pālahalaha mua a me ka pālahalaha lua. Hoʻohana nui ʻia ka pālahalaha mua e hoʻoholo i ke kuhikuhi kristal kumu a me ka kuhikuhi hana o ka wafer, ʻoiai ke kōkua hou aku ka pālahalaha lua i ka hoʻonohonoho pololei a me ka hana ʻana, e hōʻoia ana i ka hana pololei a me ke kūlike o ka wafer ma o ka laina hana.

Mānoanoa: ʻO ka mānoanoa o kahi wafer i kuhikuhi pinepine ʻia ma nā micrometers (μm), me nā mānoanoa maʻamau ma waena o 100μm a me 1000μm. He kūpono nā wafers o nā mānoanoa like ʻole no nā ʻano mea microelectronic like ʻole. Hoʻohana pinepine ʻia nā wafers lahilahi (e laʻa, 100μm - 300μm) no ka hana ʻana i nā chip e pono ai ka kaohi mānoanoa paʻa, e hoʻemi ana i ka nui a me ke kaumaha o ka chip a hoʻonui i ka nui o ka hoʻohui ʻana. Hoʻohana nui ʻia nā wafers mānoanoa (e laʻa, 500μm - 1000μm) i nā mea e pono ai ka ikaika mechanical kiʻekiʻe, e like me nā mea semiconductor mana, e hōʻoia i ke kūpaʻa i ka wā o ka hana.

ʻO ka ʻOʻoleʻa o ka ʻIli: ʻO ka ʻoʻoleʻa o ka ʻili kekahi o nā palena koʻikoʻi no ka loiloi ʻana i ka maikaʻi o ka wafer, no ka mea, pili pololei ia i ka hoʻopili ʻana ma waena o ka wafer a me nā mea ʻili lahilahi i waiho ʻia ma hope, a me ka hana uila o ka hāmeʻa. Hōʻike pinepine ʻia ia ma ke ʻano he ʻoʻoleʻa kumu awelika (RMS) (ma nm). ʻO ka ʻoʻoleʻa o ka ʻili haʻahaʻa ʻo ia hoʻi ka laumania o ka ʻili wafer, kahi e kōkua ai i ka hōʻemi ʻana i nā hanana e like me ka hoʻopuehu ʻana o ka electron a hoʻomaikaʻi i ka hana a me ka hilinaʻi o ka hāmeʻa. I nā kaʻina hana semiconductor holomua, ke lilo nei nā koi ʻoʻoleʻa o ka ʻili i mea paʻakikī, ʻoi aku hoʻi no ka hana ʻana i nā kaapuni hoʻohui kiʻekiʻe, kahi e pono ai ke kāohi ʻia ka ʻoʻoleʻa o ka ʻili i kekahi mau nanometer a i ʻole haʻahaʻa.

ʻOkoʻa Mānoanoa Holoʻokoʻa (TTV): ʻO ka ʻokoʻa mānoanoa holoʻokoʻa e pili ana i ka ʻokoʻa ma waena o ka mānoanoa kiʻekiʻe a me ka liʻiliʻi loa i ana ʻia ma nā wahi he nui ma ka ʻili wafer, i hōʻike pinepine ʻia ma μm. Hiki i kahi TTV kiʻekiʻe ke alakaʻi i nā ʻokoʻa i nā kaʻina hana e like me ka photolithography a me ke kālai ʻana, e hoʻopilikia ana i ke kūlike o ka hana a me ka hua. No laila, ʻo ka kaohi ʻana i ka TTV i ka wā o ka hana wafer he hana nui ia i ka hōʻoia ʻana i ka maikaʻi o ka huahana. No ka hana ʻana i nā mea microelectronic kiʻekiʻe, pono pinepine ʻia ʻo TTV i loko o kekahi mau micrometer.

Kakaka: ʻO ke kakaka e pili ana i ka ʻokoʻa ma waena o ka ʻili wafer a me ka mokulele pālahalaha kūpono, i ana pinepine ʻia ma μm. Hiki i nā wafers me ke kūlou nui ke haki a ʻike paha i ke kaumaha like ʻole i ka wā o ka hana ʻana ma hope, e hoʻopilikia ana i ka pono hana a me ka maikaʻi o ka huahana. ʻOi loa i nā kaʻina hana e pono ai ka pālahalaha kiʻekiʻe, e like me ka photolithography, pono e hoʻomalu ʻia ke kūlou ʻana i loko o kahi pae kikoʻī e hōʻoia i ka pololei a me ke kūlike o ke ʻano photolithographic.

Warp: Hōʻike ka warp i ka ʻokoʻa ma waena o ka ʻili wafer a me ke ʻano poepoe kūpono, i ana ʻia hoʻi ma μm. E like me ke kakaka, ʻo ka warp kahi hōʻailona koʻikoʻi o ka palahalaha o ka wafer. ʻAʻole wale ka warp nui e hoʻopilikia i ka pololei o ke kau ʻana o ka wafer i nā lako hana akā hiki ke hana i nā pilikia i ka wā o ke kaʻina hana hoʻopili chip, e like me ka pilina maikaʻi ʻole ma waena o ka chip a me ka mea hoʻopili, kahi e hoʻopilikia ai i ka hilinaʻi o ka hāmeʻa. I ka hana semiconductor kiʻekiʻe, ke koʻikoʻi nei nā koi warp e hoʻokō i nā koi o ka hana chip holomua a me nā kaʻina hana hoʻopili.

ʻIke Lihi: He mea koʻikoʻi ke ʻano lihi o kahi wafer no kāna hana ʻana a me ka lawelawe ʻana ma hope. Hoʻākāka pinepine ʻia e ka Edge Exclusion Zone (EEZ), ka mea e wehewehe ana i ka mamao mai ka lihi wafer kahi i ʻae ʻole ʻia ai ka hana ʻana. ʻO kahi ʻano lihi i hoʻolālā pono ʻia a me ka kaohi EEZ pololei e kōkua i ka pale ʻana i nā hemahema lihi, nā ʻano koʻikoʻi, a me nā pilikia ʻē aʻe i ka wā o ka hana ʻana, e hoʻomaikaʻi ana i ka maikaʻi o ka wafer holoʻokoʻa a me ka hua. I kekahi mau kaʻina hana hana holomua, pono ka pololei o ke ʻano lihi ma ka pae sub-micron.

Helu ʻĀpana: ʻO ka nui a me ka nui o ka hoʻolaha ʻana o nā ʻāpana ma ka ʻili wafer e hoʻopilikia nui i ka hana o nā mea microelectronic. Hiki i nā ʻāpana nui a nui paha ke alakaʻi i ka hemahema o ka hāmeʻa, e like me nā kaapuni pōkole a i ʻole ka leakage, e hōʻemi ana i ka hua huahana. No laila, ana pinepine ʻia ka helu ʻāpana ma ka helu ʻana i nā ʻāpana ma kēlā me kēia wahi, e like me ka helu o nā ʻāpana i ʻoi aku ma mua o 0.3μm. ʻO ka kaohi paʻa ʻana i ka helu ʻāpana i ka wā o ka hana ʻana o ka wafer he ana koʻikoʻi ia no ka hōʻoia ʻana i ka maikaʻi o ka huahana. Hoʻohana ʻia nā ʻenehana hoʻomaʻemaʻe holomua a me kahi ʻano hana maʻemaʻe e hōʻemi i ka haumia o nā ʻāpana ma ka ʻili wafer.

Hana pili

ʻAno Wafer Silicon Crystal Hoʻokahi Si Substrate N/P Koho Wafer Silicon Carbide

ʻO ka wafer FZ CZ Si i loko o ka waihona 12inch Silicon wafer Prime a i ʻole Test