Me ka hoʻomohala mau ʻana o ka ʻenehana semiconductor, ma ka ʻoihana semiconductor a me ka ʻoihana photovoltaic, ua paʻa loa nā koi no ka maikaʻi o ka ʻili o ka substrate wafer a i ʻole ka pepa epitaxial. No laila, he aha nā koi maikaʻi no nā wafers? Ke lawe neiwafer sapeiroNo ka laʻana, he aha nā ʻōkuhi e hiki ke hoʻohana ʻia e loiloi i ka maikaʻi o ka ʻili o nā wafers?
He aha nā hōʻailona loiloi wafers?
Nā hōʻailona ʻekolu
No nā wafers sapphire, ʻo kāna mau hōʻailona loiloi ka ʻokoʻa mānoanoa holoʻokoʻa (TTV), kūlou (Bow) a me Warp (Warp). Hōʻike pū kēia mau palena ʻekolu i ka pālahalaha a me ke ʻano like o ka mānoanoa o ka wafer silicon, a hiki ke ana i ke kiʻekiʻe o ka ripple o ka wafer. Hiki ke hoʻohui ʻia ka corrugation me ka pālahalaha e loiloi i ka maikaʻi o ka ʻili wafer.
He aha ka TTV, BOW, Warp?
TTV (ʻOkoʻa Mānoanoa Holoʻokoʻa)
ʻO TTV ka ʻokoʻa ma waena o ka mānoanoa kiʻekiʻe a me ka liʻiliʻi o kahi wafer. He ʻōkuhi koʻikoʻi kēia palena i hoʻohana ʻia e ana i ke ʻano like o ka mānoanoa o ka wafer. I loko o kahi kaʻina hana semiconductor, pono e like loa ka mānoanoa o ka wafer ma luna o ka ʻili holoʻokoʻa. Hana pinepine ʻia nā ana ma nā wahi ʻelima ma ka wafer a helu ʻia ka ʻokoʻa. I ka hopena, he kumu koʻikoʻi kēia waiwai no ka hoʻoholo ʻana i ka maikaʻi o ka wafer.
Kakaka
ʻO ke kakaka i ka hana semiconductor e pili ana i ke kūlou ʻana o kahi wafer, e hoʻokuʻu ana i ka mamao ma waena o ka piko waena o kahi wafer i hoʻopaʻa ʻole ʻia a me ka mokulele kuhikuhi. Loaʻa paha ka huaʻōlelo mai kahi wehewehe ʻana i ke ʻano o kahi mea i ka wā e kūlou ʻia ai, e like me ke ʻano piʻo o ke kakaka. Ho'ākāka ʻia ka waiwai o ke kakaka ma ke ana ʻana i ka ʻokoʻa ma waena o ke kikowaena a me ka lihi o ka wafer silicon. Hōʻike pinepine ʻia kēia waiwai ma nā micrometers (µm).
ʻŌwiliwili
ʻO ke Warp kahi waiwai honua o nā wafers e ana i ka ʻokoʻa ma waena o ka mamao kiʻekiʻe a me ka mamao liʻiliʻi ma waena o ka waena o kahi wafer i hoʻopaʻa ʻole ʻia a me ka mokulele kuhikuhi. Hōʻike ia i ka mamao mai ka ʻili o ka wafer silicon a i ka mokulele.
He aha ka ʻokoʻa ma waena o TTV, Bow, a me Warp?
Ke nānā nei ʻo TTV i nā loli o ka mānoanoa a ʻaʻole ia e pili ana i ke kūlou ʻana a i ʻole ka hoʻopilikia ʻana o ka wafer.
Nānā ke kakaka i ke kūlou holoʻokoʻa, e noʻonoʻo nui ana i ke kūlou o ke kikowaena a me ka lihi.
ʻOi aku ka piha o ka warp, me ke kulou ʻana a me ka wili ʻana o ka ʻili wafer holoʻokoʻa.
ʻOiai pili kēia mau palena ʻekolu i ke ʻano a me nā waiwai geometric o ka wafer silicon, ua ana ʻia a wehewehe ʻia lākou ma ke ʻano ʻokoʻa, a ʻokoʻa hoʻi ko lākou hopena i ke kaʻina hana semiconductor a me ka hana ʻana i ka wafer.
ʻO ka liʻiliʻi o nā palena ʻekolu, ʻoi aku ka maikaʻi, a ʻo ka nui o ke palena, ʻoi aku ka nui o ka hopena maikaʻi ʻole ma ke kaʻina hana semiconductor. No laila, ma ke ʻano he mea hana semiconductor, pono mākou e ʻike i ke koʻikoʻi o nā palena profile wafer no ke kaʻina hana holoʻokoʻa, hana i ke kaʻina hana semiconductor, pono e hoʻolohe i nā kikoʻī.
（ke kāohi ʻana）
Ka manawa hoʻouna: Iune-24-2024