He aha nā Wafer TTV, Bow, Warp, a pehea e ana ʻia ai lākou?

ʻPapa Kuhikuhi

1. Nā Manaʻo Koʻikoʻi a me nā Metrika

2. Nā ʻAno Ana

3.​​ Ka Hana ʻIkepili a me nā Hewa​​

4. Nā Hopena o ke Kaʻina Hana

I ka hana ʻana o ka semiconductor, ʻo ke ʻano like o ka mānoanoa a me ka pālahalaha o ka ʻili o nā wafers he mau mea koʻikoʻi e pili ana i ka hua o ke kaʻina hana. ʻO nā palena koʻikoʻi e like me ka Total Thickness Variation (TTV), Bow (arcuate warpage), Warp (global warpage), a me Microwarp (nano-topography) e pili pololei ana i ka pololei a me ke kūpaʻa o nā kaʻina hana koʻikoʻi e like me ka photolithography focus, chemical mechanical polishing (CMP), a me ka thin-film deposition.

Nā Manaʻo Koʻikoʻi a me nā Metrics

​​TTV (ʻOkoʻa Mānoanoa Holoʻokoʻa)

Nā ʻenehana ana

1. Nā ʻAno Ana o TTV

• ​​ʻO ka Profilometry ʻIli Pālua
• ʻO ka Fizeau Interferometry:Hoʻohana i nā palena hoʻopilikia ma waena o kahi mokulele kuhikuhi a me ka ʻili wafer. Kūpono no nā ʻili laumania akā kaupalena ʻia e nā wafers piʻo nui.
• ʻO ka Interferometry Scanning Light Keʻokeʻo (SWLI):Ana i nā kiʻekiʻe kūpono ma o nā ʻōwili kukui haʻahaʻa. Kūpono no nā ʻili e like me ke ʻanuʻu akā ua kaupalena ʻia e ka wikiwiki o ka nānā ʻana i ka mīkini.
• Nā Hana Hoʻopili:Hoʻokō i ka hoʻonā sub-micron ma o nā loina pinhole a i ʻole ka dispersion. Kūpono no nā ʻili ʻinoʻino a translucent paha akā lohi ma muli o ka scan kiko-ma-kiko.
• ʻO ka hui ʻekolu laser:Pane wikiwiki akā hiki ke nalowale ka pololei mai nā ʻokoʻa o ka noʻonoʻo ʻana o ka ʻili.

• ​​Hoʻopili Hoʻoili/Hoʻākāka
• Nā ʻIke Capacitance Poʻo ʻElua: ʻO ke kau ʻana o nā ʻike ma nā ʻaoʻao ʻelua e ana i ka mānoanoa e like me T = L - d₁ - d₂ (L = ka mamao kumu). Wikiwiki akā naʻe i nā waiwai o nā mea.
• ʻElipsometry/Spectroscopic Reflectometry: Nānā i nā pilina māmā-mea no ka mānoanoa o ka ʻili lahilahi akā ʻaʻole kūpono no ka TTV nui.

2. Ana ʻana o ke kakaka a me ke kaulahao

• ​​Nā Pūʻulu Capacitance Multi-Probe: E hopu i ka ʻikepili kiʻekiʻe piha piha ma kahi kahua ea no ke kūkulu hou ʻana i ka 3D wikiwiki.
• ​​Hoʻolele Mālamalama i Hoʻonohonoho ʻia: Ke kālailai ʻana i ka 3D wikiwiki me ka hoʻohana ʻana i ke ʻano optical.
• ​​Interferometry Low-NA: Palapala ʻili kiʻekiʻe akā pili i ka haʻalulu.

3. Ana ʻana o ka Microwarp

• Ka Nānā Alapine Kūwaho:

1. E kiʻi i ka topography ʻilikai hoʻonā kiʻekiʻe.
2. E helu i ka nui o ka mana spectral (PSD) ma o 2D FFT.
3. E hoʻopili i nā kānana bandpass (e laʻa, 0.5–20 mm) e hoʻokaʻawale i nā nalu koʻikoʻi.
4. E helu i nā waiwai RMS a i ʻole PV mai ka ʻikepili i kānana ʻia.

• Hoʻohālike ʻana o ka Vacuum Chuck:E hoʻohālike i nā hopena paʻa o ke ao maoli i ka wā o ka lithography.

Ka Hoʻoponopono ʻIkepili a me nā Kumu Hewa

Kaʻina Hana Hana

• TTV:E hoʻohālikelike i nā hoʻonohonoho ʻili mua/hope, e helu i ka ʻokoʻa mānoanoa, a e unuhi i nā hewa ʻōnaehana (e laʻa, ka drift thermal).
• ʻKakaka/ʻŌwiliwili:E hoʻokomo i ka mokulele LSQ i ka ʻikepili kiʻekiʻe; Bow = ke koena kiko waena, Warp = ke koena piko-a-awāwa.
• ʻMicrowarp:Kānana i nā alapine ākea, e helu i nā helu helu (RMS/PV).

Nā Kumu Hewa Koʻikoʻi

• Nā Kumu Kaiapuni:Ka haʻalulu (koʻikoʻi no ka interferometry), ka haunaele ea, ka holo ʻana o ka wela.
• Nā Palena o ka Sensor:Ka walaʻau pae (interferometry), nā hewa hoʻoponopono nalu (confocal), nā pane e pili ana i ka mea (capacitance).
• Ka lawelawe ʻana i ka wafer:Ka hoʻokaʻawale ʻana i ka lihi me ka hewa, nā hewa o ke kahua neʻe i ka humuhumu ʻana.

Ka hopena ma ke koʻikoʻi o ke kaʻina hana

• Palapala Kiʻi:Hoʻemi ka microwarp kūloko i ka DOF, e hana ana i ka loli CD a me nā hewa overlay.
• CMP:ʻO ke kaulike ʻole o ka TTV mua e alakaʻi ai i ke kaomi wili like ʻole.
• Ka Nānā ʻana i ke Koʻikoʻi:Hōʻike ka ulu ʻana o ke kakaka/warp i ke ʻano o ke kaumaha wela/mekanika.
• Pūʻolo:Hoʻokumu ka TTV nui i nā hakahaka ma nā ʻaoʻao hoʻopili.

ʻO ka Wafer Sapphire a XKH