ʻO ka ulu ʻana i kahi papa hou o nā ʻātoma silicon ma luna o kahi substrate wafer silicon he nui nā pono:
I nā kaʻina hana silicon CMOS, ʻo ka ulu ʻana o ka epitaxial (EPI) ma ka substrate wafer kahi kaʻina hana koʻikoʻi.
1, Hoʻomaikaʻi i ka maikaʻi o ke aniani
Nā hemahema a me nā haumia mua o ka substrate: I ka wā o ke kaʻina hana, hiki i ka substrate wafer ke loaʻa kekahi mau hemahema a me nā haumia. ʻO ka ulu ʻana o ka papa epitaxial hiki ke hana i kahi papa silicon monocrystalline kiʻekiʻe me nā haʻahaʻa haʻahaʻa o nā hemahema a me nā haumia ma ka substrate, he mea nui ia no ka hana ʻana o nā hāmeʻa ma hope.
ʻAno like o ke ʻano o ke aniani: ʻO ka ulu ʻana o ka epitaxial e hōʻoia i kahi ʻano like o ke aniani, e hōʻemi ana i ka hopena o nā palena o ka palaoa a me nā hemahema i ka mea substrate, a laila e hoʻomaikaʻi ana i ka maikaʻi o ke aniani o ka wafer.
2, hoʻomaikaʻi i ka hana uila.
Hoʻonui i nā ʻano o ka hāmeʻa: Ma ka hoʻoulu ʻana i kahi papa epitaxial ma luna o ka substrate, hiki ke hoʻomalu pololei ʻia ka nui o ka doping a me ke ʻano o ka silicon, e hoʻonui ana i ka hana uila o ka hāmeʻa. No ka laʻana, hiki ke hoʻoponopono maikaʻi ʻia ka doping o ka papa epitaxial e kaohi i ka volta paepae o MOSFET a me nā ʻano uila ʻē aʻe.
Hoʻemi i ke au leakage: ʻO kahi papa epitaxial kiʻekiʻe he haʻahaʻa ka nui o ka hemahema, kahi e kōkua ai i ka hoʻemi ʻana i ke au leakage i nā polokalamu, no laila e hoʻomaikaʻi ai i ka hana a me ka hilinaʻi o ka polokalamu.
3, hoʻomaikaʻi i ka hana uila.
Hoʻemi i ka nui o nā hiʻohiʻona: Ma nā kikowaena hana liʻiliʻi (e like me 7nm, 5nm), ke hoʻomau nei ka emi ʻana o ka nui o nā hiʻohiʻona o nā hāmeʻa, e koi ana i nā mea i hoʻomaʻemaʻe ʻia a kiʻekiʻe hoʻi. Hiki i ka ʻenehana ulu epitaxial ke hoʻokō i kēia mau koi, e kākoʻo ana i ka hana ʻana o nā kaapuni hoʻohui kiʻekiʻe a me ka nui.
Hoʻonui i ka Voltage Breakdown: Hiki ke hoʻolālā ʻia nā papa Epitaxial me nā voltages breakdown kiʻekiʻe, he mea koʻikoʻi ia no ka hana ʻana i nā mea hana mana kiʻekiʻe a me nā voltages kiʻekiʻe. No ka laʻana, i nā mea hana mana, hiki i nā papa epitaxial ke hoʻomaikaʻi i ka voltages breakdown o ka mea hana, e hoʻonui ana i ka laulā hana palekana.
4, Hoʻohālikelike Hana a me nā ʻAno Multilayer
Nā ʻAno Hana Multilayer: ʻO ka ʻenehana ulu epitaxial e ʻae i ka ulu ʻana o nā ʻano hana multilayer ma nā substrates, me nā papa like ʻole me nā ʻano doping like ʻole a me nā ʻano. He mea maikaʻi loa kēia no ka hana ʻana i nā polokalamu CMOS paʻakikī a me ka hiki ʻana i ka hoʻohui ʻekolu-dimensional.
Hoʻohālikelike: He kūpono loa ke kaʻina hana ulu epitaxial me nā kaʻina hana CMOS e kū nei, e maʻalahi ai ke hoʻohui i nā kahe hana hana o kēia manawa me ka ʻole o ka pono no nā hoʻololi koʻikoʻi i nā laina hana.
Hōʻuluʻulu Manaʻo: ʻO ka hoʻohana ʻana o ka ulu ʻana o ka epitaxial i nā kaʻina hana silicon CMOS e hoʻoikaika nui i ka maikaʻi o ka kristal wafer, hoʻomaikaʻi i ka hana uila o ka hāmeʻa, kākoʻo i nā kikowaena kaʻina hana holomua, a hoʻokō i nā koi o ka hana kiʻekiʻe a me ka hana kaapuni hoʻohui kiʻekiʻe. ʻAe ka ʻenehana ulu ʻana o ka epitaxial i ka kaohi pololei ʻana i ka doping a me ke ʻano o nā mea, e hoʻomaikaʻi ana i ka hana holoʻokoʻa a me ka hilinaʻi o nā hāmeʻa.
Ka manawa hoʻouna: ʻOkakopa-16-2024