ʻO ka ulu ʻana i kahi papa o nā ʻātoma silika ma kahi substrate wafer silicon he nui nā pono:
I nā kaʻina hana silika CMOS, ʻo ka ulu ʻana o ka epitaxial (EPI) ma ka wafer substrate kahi hana koʻikoʻi.
1, Hoʻomaikaʻi i ka maikaʻi kristal
Nā hemahema o ka substrate mua a me nā haumia: I ka wā o ka hana ʻana, loaʻa paha i ka substrate wafer kekahi mau hemahema a me nā haumia. Hiki i ka ulu ʻana o ka papa epitaxial ke hana i kahi ʻāpana silikon monocrystalline kiʻekiʻe me nā haʻahaʻa haʻahaʻa o nā hemahema a me nā haumia ma ka substrate, he mea koʻikoʻi ia no ka hana ʻana i nā mea hana ma hope.
ʻO ke ʻano aniani like ʻole: ʻO ka ulu ʻana o ka epitaxial e hōʻoia i kahi ʻano kristal like ʻole, e hōʻemi ana i ka hopena o nā palena o ka palaoa a me nā hemahema i ka mea substrate, a laila e hoʻomaikaʻi ai i ka maikaʻi kristal holoʻokoʻa o ka wafer.
2, hoʻomaikaʻi i ka hana uila.
ʻO ka hoʻonui ʻana i nā hiʻohiʻona o ka mea hana: Ma ka ulu ʻana i kahi papa epitaxial ma ka substrate, hiki ke hoʻomalu pono ʻia ke ʻano o ka doping a me ke ʻano o ke silika, e hoʻonui ana i ka hana uila o ka hāmeʻa. No ka laʻana, hiki ke hoʻoponopono maikaʻi ʻia ka doping o ka papa epitaxial e kāohi i ka volta paepae o MOSFET a me nā ʻāpana uila ʻē aʻe.
E hōʻemi ana i ka leakage: ʻO kahi papa epitaxial kiʻekiʻe he haʻahaʻa haʻahaʻa haʻahaʻa haʻahaʻa, e kōkua ana i ka hoʻohaʻahaʻa i ka leakage o kēia manawa i nā mea hana, a laila e hoʻomaikaʻi ai i ka hana a me ka hilinaʻi.
3、 hoʻomaikaʻi i ka hana uila.
E ho'ēmi i ka nui o nā hiʻohiʻona: I nā node kaʻina hana liʻiliʻi (e like me 7nm, 5nm), e hoʻomau ka nui o nā hiʻohiʻona o nā mea hana, e koi ana i nā mea i hoʻomaʻemaʻe ʻia a kiʻekiʻe. Hiki i ka ʻenehana ulu epitaxial ke hoʻokō i kēia mau koi, e kākoʻo ana i ka hana ʻana o nā hana kiʻekiʻe a me nā kiʻekiʻe kiʻekiʻe.
Hoʻonui i ka Voltage Breakdown: Hiki ke hoʻolālā ʻia nā papa epitaxial me nā volta haʻahaʻa kiʻekiʻe, he mea koʻikoʻi no ka hana ʻana i nā mea mana kiʻekiʻe a kiʻekiʻe. No ka laʻana, i loko o nā mana mana, hiki i nā papa epitaxial ke hoʻomaikaʻi i ka puʻupuʻu haʻihaʻi o ka hāmeʻa, e hoʻonui ana i ka pae hana palekana.
4 、 Hoʻohālikelike kaʻina hana a me nā ʻōnaehana Multilayer
Nā Kūlana Multilayer: Hiki i ka ʻenehana ulu epitaxial ke ulu i nā hale multilayer ma nā substrates, me nā papa like ʻole me nā ʻano doping ʻokoʻa a me nā ʻano. He mea maikaʻi loa kēia no ka hana ʻana i nā polokalamu CMOS paʻakikī a hiki i ka hoʻohui ʻana i ʻekolu-dimensional.
Hoʻohālikelike: He kūpono loa ke kaʻina hana ulu epitaxial me nā kaʻina hana CMOS i kēia manawa, e maʻalahi ka hoʻohui ʻana i nā kahe hana hana o kēia manawa me ka ʻole o ka pono o nā hoʻololi nui i nā laina kaʻina.
Hōʻuluʻulu manaʻo: ʻO ka hoʻohana ʻana i ka ulu epitaxial i nā kaʻina silika CMOS ke manaʻo nui e hoʻomaikaʻi i ka maikaʻi o ka wafer crystal, hoʻomaikaʻi i ka hana uila, kākoʻo i nā nodes kaʻina holomua, a hoʻokō i nā koi o ka hana kiʻekiʻe a me ka kiʻekiʻe kiʻekiʻe i hoʻohui ʻia. Hiki i ka ʻenehana ulu epitaxial ke hoʻomalu pono i ka doping waiwai a me ka hoʻolālā, hoʻomaikaʻi i ka hana holoʻokoʻa a me ka hilinaʻi o nā hāmeʻa.
Ka manawa hoʻouna: Oct-16-2024