ʻO Silicon carbide (SiC), ma ke ʻano he ʻano mea semiconductor ākea ākea, ke pāʻani nei i kahi kuleana koʻikoʻi i ka hoʻohana ʻana i ka ʻepekema a me ka ʻenehana hou.Loaʻa i ka Silicon carbide ka paʻa wela maikaʻi, ka hoʻomanawanui kiʻekiʻe o ke kahua uila, ka manaʻo conductivity a me nā waiwai kino a me ka optical maikaʻi loa, a hoʻohana nui ʻia i nā mea optoelectronic a me nā polokalamu solar.Ma muli o ka piʻi ʻana o ka noi no nā mea uila ʻoi aku ka maikaʻi a paʻa, ua lilo ka haku ʻana i ka ʻenehana ulu o ka silicon carbide i wahi wela.
No laila pehea ka nui o kāu ʻike e pili ana i ke kaʻina ulu SiC?
I kēia lā, e kūkākūkā mākou i ʻekolu mau ʻenehana nui no ka ulu ʻana o nā kristal hoʻokahi silicon carbide: ka lawe ʻana i ka mahu kino (PVT), ka wai epitaxy (LPE), a me ka hoʻoheheʻe ʻana o ka mahu kiʻekiʻe kiʻekiʻe (HT-CVD).
ʻO ke ʻano hoʻoili mahu kino (PVT)
ʻO ke ʻano o ka hoʻoili ʻana i ka mahu kino kekahi o nā kaʻina hana ulu silicon carbide.ʻO ka ulu ʻana o ka carbide silicon crystal hoʻokahi e hilinaʻi nui ʻia i ka sublimation o ka pauka sic a me ka hoʻihoʻi hou ʻana i ka ʻano kristal ma lalo o nā kūlana wela kiʻekiʻe.I loko o ka graphite crucible pani ʻia, ua wela ka pauka silicon carbide i ka wela kiʻekiʻe, ma o ka hoʻomalu ʻana i ka gradient mahana, hoʻopaʻa ʻia ka mahu silicon carbide ma ka ʻili o ka aniani hua, a ulu mālie i kahi aniani nui hoʻokahi.
ʻO ka hapa nui o ka monocrystalline SiC a mākou e hāʻawi nei i kēia manawa i hana ʻia ma kēia ala o ka ulu.ʻO ia hoʻi ke ala nui i ka ʻoihana.
Epitaxy pae wai (LPE)
Hoʻomākaukau ʻia nā kristal carbide silika e ka wai epitaxy ma o ke kaʻina ulu kristal ma ke kikowaena paʻa-wai.Ma kēia ʻano, ua hoʻoheheʻe ʻia ka pauka silicon carbide i loko o kahi solution silicon-carbon i ka wela kiʻekiʻe, a laila hoʻohaʻahaʻa ʻia ka mahana i hoʻoheheʻe ʻia ka silicon carbide mai ka hopena a ulu ma luna o nā kristal hua.ʻO ka pōmaikaʻi nui o ke ala LPE ka hiki ke loaʻa i nā kristal kiʻekiʻe ma kahi haʻahaʻa haʻahaʻa haʻahaʻa, ʻoi aku ka haʻahaʻa o ke kumukūʻai, a kūpono ia no ka hana nui.
ʻO ka waiho ʻana o ka mahu kiʻekiʻe kiʻekiʻe (HT-CVD)
Ma ka hoʻokomo ʻana i ke kinoea e loaʻa ana ke silikoni a me ke kalapona i loko o ke keʻena pane i ka wela kiʻekiʻe, ua waiho pololei ʻia ka papa aniani o ka silicon carbide ma luna o ka ʻili o ke aniani hua ma o ka hopena kemika.ʻO ka pōmaikaʻi o kēia ʻano hana ʻo ia ka hiki ke hoʻomalu pono ʻia ke kahe kahe a me nā kūlana hoʻohālikelike o ke kinoea, i loaʻa ai kahi aniani carbide silicon me ka maʻemaʻe kiʻekiʻe a me nā hemahema liʻiliʻi.Hiki i ke kaʻina hana HT-CVD ke hana i nā kristal carbide silicon me nā waiwai maikaʻi loa, he mea waiwai nui ia no nā noi kahi e pono ai nā mea kiʻekiʻe loa.
ʻO ke kaʻina hana o ka silicon carbide ka pōhaku kihi o kāna noi a me ka hoʻomohala ʻana.Ma o ka hoʻomau ʻana i ka ʻenehana a me ka hoʻonui ʻana, hoʻokani kēia mau ʻano ulu ulu ʻekolu i kā lākou mau kuleana e hoʻokō i nā pono o nā manawa like ʻole, e hōʻoiaʻiʻo ana i ke kūlana koʻikoʻi o ka silicon carbide.Me ka hohonu o ka noiʻi a me ka holomua ʻenehana, e hoʻomau ʻia ke kaʻina ulu o nā mea silicon carbide, a e hoʻomaikaʻi hou ʻia ka hana o nā mea uila.
(ka nānā ʻana)
Ka manawa hoʻouna: Jun-23-2024