ʻO Silicon carbide (SiC), ma ke ʻano he ʻano mea semiconductor ākea ākea, e pāʻani ana i kahi hana koʻikoʻi i ka hoʻohana ʻana i ka ʻepekema a me ka ʻenehana hou. Loaʻa iā Silicon carbide ke kūpaʻa wela maikaʻi loa, ke ahonui kiʻekiʻe o ke kahua uila, ka conductivity intentional a me nā waiwai kino a me nā optical maikaʻi loa, a hoʻohana nui ʻia i nā polokalamu optoelectronic a me nā polokalamu solar. Ma muli o ka hoʻonui ʻia o ke koi no nā polokalamu uila ʻoi aku ka maikaʻi a me ka paʻa, ua lilo ka hoʻokele ʻana i ka ʻenehana ulu o ka silicon carbide i wahi wela.
No laila pehea kou ʻike e pili ana i ke kaʻina hana ulu SiC?
I kēia lā e kūkākūkā mākou i ʻekolu mau ʻano hana nui no ka ulu ʻana o nā kristal silicon carbide hoʻokahi: ka lawe ʻana i ka mahu kino (PVT), ka epitaxy pae wai (LPE), a me ka waiho ʻana o ka mahu kemika kiʻekiʻe (HT-CVD).
Ke ʻAno Hoʻoili ʻAhu Kino (PVT)
ʻO ke ʻano hoʻoili mahu kino kekahi o nā kaʻina hana ulu silicon carbide i hoʻohana pinepine ʻia. ʻO ka ulu ʻana o ka silicon carbide kristal hoʻokahi e hilinaʻi nui ʻia ana i ka sublimation o ka pauka sic a me ka waiho hou ʻana ma luna o ke kristal hua ma lalo o nā kūlana mahana kiʻekiʻe. I loko o kahi ipu hoʻoheheʻe graphite pani ʻia, ua hoʻomehana ʻia ka pauka silicon carbide i ka mahana kiʻekiʻe, ma o ka kaohi ʻana o ka gradient mahana, hoʻopili ka mahu silicon carbide ma luna o ka kristal hua, a ulu mālie i kahi kristal hoʻokahi nui.
ʻO ka hapa nui o ka monocrystalline SiC a mākou e hāʻawi nei i kēia manawa ua hana ʻia ma kēia ʻano o ka ulu ʻana. ʻO ia nō hoʻi ke ala nui i ka ʻoihana.
ʻO ka epitaxy pae wai (LPE)
Hoʻomākaukau ʻia nā kristal silicon carbide e ka epitaxy pae wai ma o ke kaʻina hana ulu kristal ma ka interface paʻa-wai. Ma kēia ʻano hana, hoʻoheheʻe ʻia ka pauka silicon carbide i loko o kahi hopena silicon-carbon ma ke ana wela kiʻekiʻe, a laila hoʻohaʻahaʻa ʻia ka mahana i mea e hoʻoheheʻe ʻia ai ka silicon carbide mai ka hopena a ulu ma luna o nā kristal hua. ʻO ka pōmaikaʻi nui o ke ʻano LPE ʻo ia ka hiki ke loaʻa nā kristal kiʻekiʻe ma kahi mahana ulu haʻahaʻa, haʻahaʻa ke kumukūʻai, a kūpono ia no ka hana nui.
Ka Hoʻokahe ʻana o ka Mahana Kemika Kiʻekiʻe (HT-CVD)
Ma ka hoʻokomo ʻana i ke kinoea e loaʻa ana ka silicon a me ke kalapona i loko o ke keʻena hopena ma ke ana wela kiʻekiʻe, ua waiho pololei ʻia ka papa kristal hoʻokahi o ka silicon carbide ma luna o ka ʻili o ke kristal hua ma o ka hopena kemika. ʻO ka pōmaikaʻi o kēia ʻano hana, ʻo ia ka hiki ke hoʻomalu pono ʻia ka nui o ke kahe a me nā kūlana hopena o ke kinoea, i mea e loaʻa ai kahi kristal silicon carbide me ka maʻemaʻe kiʻekiʻe a me nā hemahema liʻiliʻi. Hiki i ke kaʻina hana HT-CVD ke hana i nā kristal silicon carbide me nā waiwai maikaʻi loa, he mea waiwai nui ia no nā noi kahi e pono ai nā mea kiʻekiʻe loa.
ʻO ke kaʻina hana ulu o ka silicon carbide ke kihi o kāna noi a me ka hoʻomohala ʻana. Ma o ka hoʻomau ʻana o ka hana hou ʻenehana a me ka hoʻonui ʻana, hoʻokani kēia mau ʻano ulu ʻekolu i kā lākou kuleana e hoʻokō i nā pono o nā manawa like ʻole, e hōʻoiaʻiʻo ana i ke kūlana koʻikoʻi o ka silicon carbide. Me ka hohonu o ka noiʻi a me ka holomua ʻenehana, e hoʻomau ʻia ka hoʻonui ʻia ʻana o ke kaʻina hana ulu o nā mea silicon carbide, a e hoʻomaikaʻi hou ʻia ka hana o nā mea uila.
(ke kāohi ʻana)
Ka manawa hoʻouna: Iune-23-2024