Pehea lā e hiki ai iā kākou ke hoʻomāmā i kahi wafer i ka "ultra-thin"?

Pehea lā e hiki ai iā kākou ke hoʻomāmā i kahi wafer i ka "ultra-thin"?
He aha maoli ka wafer lahilahi loa?

Nā pae mānoanoa maʻamau (nā wafers 8″/12″ e like me nā laʻana)

• Wafer maʻamau:600–775 μm

• Wafer lahilahi:150–200 μm

• Wafer lahilahi loa:ma lalo o 100 μm

• Wafer lahilahi loa:50 μm, 30 μm, a i ʻole 10-20 μm paha

No ke aha e lahilahi ai nā wafers?

• E hōʻemi i ka mānoanoa o ka pūʻolo holoʻokoʻa, e hoʻopōkole i ka lōʻihi TSV, a e hoʻohaʻahaʻa i ka lohi RC

• E hōʻemi i ke kū'ē'ē a hoʻomaikaʻi i ka hoʻolaha wela

• E hoʻokō i nā koi huahana hope loa no nā ʻano ʻano lahilahi loa

Nā pilikia koʻikoʻi o nā wafers lahilahi loa

1. Hāʻule koke ka ikaika mīkini

2. ʻO ke kaua nui

3. Ka lawelawe ʻana a me ka halihali paʻakikī

4. He palupalu loa nā ʻano o ka ʻaoʻao mua; hiki ke nahā/haʻihaʻi ʻia nā wafers

Pehea e hiki ai iā mākou ke hoʻomāmā i kahi wafer i nā pae lahilahi loa?

1. DBG (ʻokiʻoki ma mua o ka wili ʻana)
   E ʻoki hapa i ka wafer (me ka ʻoki ʻole ʻana a pau) i wehewehe mua ʻia kēlā me kēia make ʻoiai e pili mau ana ka wafer mai ke kua. A laila e wili i ka wafer mai ke kua e hōʻemi i ka mānoanoa, e wehe mālie ana i ke koena o ka silicon i ʻoki ʻole ʻia. I ka hopena, e wili ʻia ka papa silicon lahilahi hope loa, e hoʻopau ana i ka singulation.

2. Kaʻina hana Taiko
   E hoʻomānoanoa wale i ka ʻāpana waena o ka wafer me ka mālama ʻana i ka mānoanoa o ka ʻaoʻao. Hāʻawi ka lihi mānoanoa i ke kākoʻo mīkini, e kōkua ana i ka hōʻemi ʻana i ka warpage a me ka pilikia o ka lawelawe ʻana.

3. Hoʻopaʻa wafer manawa pōkole
   Hoʻopili ka hoʻopaʻa manawa pōkole i ka wafer ma luna o kahimea lawe manawa pōkole, e hoʻohuli ana i kahi wafer palupalu loa, e like me ke kiʻiʻoniʻoni i loko o kahi ʻāpana paʻa a hiki ke hana ʻia. Kākoʻo ka mea lawe i ka wafer, pale i nā ʻano mua, a hoʻēmi i ke kaumaha wela—e hiki ai ke lahilahi i lalo iʻumi o nā micronsʻoiai e ʻae ana i nā kaʻina hana hoʻouka kaua e like me ka hoʻokumu ʻana o TSV, electroplating, a me ka hoʻopili ʻana. ʻO ia kekahi o nā ʻenehana hiki ke koʻikoʻi loa no ka hoʻopili ʻana i ka 3D hou.