2 ʻīniha 4 ʻīniha 6 ʻīniha kumu Sapphire Substrate (PSS) kahi i ulu ai nā mea GaN hiki ke hoʻohana no ke kukui LED.
Nā hiʻohiʻona nui
1. Nā hiʻohiʻona hoʻolālā:
Aia ka ʻili o ka PSS i kahi cone kūpono a i ʻole triangular conical pattern nona ke ʻano, ka nui a me ka laha ʻana hiki ke hoʻomalu ʻia ma ka hoʻoponopono ʻana i nā ʻāpana kaʻina hana etching.
Kōkua kēia mau kiʻi kiʻi i ka hoʻololi ʻana i ke ala hoʻolaha o ka mālamalama a hoʻemi i ka nānā ʻana o ka mālamalama, pēlā e hoʻomaikaʻi ai i ka pono o ka lawe ʻana i ka māmā.
2. Nā hiʻohiʻona waiwai:
Hoʻohana ʻo PSS i ka sapphire kiʻekiʻe ma ke ʻano he substrate material, nona nā ʻano o ka paʻakikī kiʻekiʻe, ka conductivity thermal kiʻekiʻe, ke kūpaʻa kemika maikaʻi a me ka ʻike ʻike.
ʻO kēia mau hiʻohiʻona e hiki ai iā PSS ke kū'ē i nā kaiapuni koʻikoʻi e like me ke kiʻekiʻe o nā mahana a me nā pilikia me ka mālamaʻana i ka hana optical maikaʻi loa.
3. Hoʻokō Optical:
Ma ka hoʻololi ʻana i ka hoʻopuehu nui ʻana ma ke kikowaena ma waena o GaN a me ka substrate sapphire, hana ka PSS i nā kiʻi i ʻike ʻia i loko o ka papa GaN i loaʻa ka manawa e pakele ai mai ka substrate sapphire.
ʻO kēia hiʻohiʻona e hoʻomaikaʻi nui i ka pono o ka lawe ʻana i ka māmā o ka LED a hoʻonui i ka ikaika o ka mālamalama o ke LED.
4. Kaʻina hana:
He paʻakikī ke kaʻina hana o PSS, e pili ana i nā ʻanuʻu he nui e like me ka lithography a me ka etching, a koi i nā mea hana kiʻekiʻe a me ka mana kaʻina hana.
Eia nō naʻe, me ka holomua mau o ka ʻenehana a me ka hōʻemi ʻana i nā kumukūʻai, hoʻomaikaʻi maikaʻi ʻia ke kaʻina hana o PSS.
Pono kumu
1.E hoʻomaikaʻi i ka pono o ka lawe ʻana i ka māmā: Hoʻomaikaʻi nui ʻo PSS i ka hoʻomaʻamaʻa ʻana i ka māmā o ka LED ma o ka hoʻololi ʻana i ke ala hoʻolaha māmā a me ka hōʻemi ʻana i ka noʻonoʻo holoʻokoʻa.
2. Hoʻolōʻihi i ke ola LED: Hiki i ka PSS ke hoʻemi i ka dislocation density o nā mea epitaxial GaN, a laila e hōʻemi ana i ka recombination non-radiative a me ka hoʻohuli ʻana i ka leakage i kēia manawa i ka ʻāina ikaika, e hoʻolōʻihi i ke ola o LED.
3.E hoʻonui i ka'ōlinolino LED: Ma muli o ka hoʻomaikaʻiʻana i ka pono o ka laweʻana i ka māmā a me ka hoʻonuiʻana i ke ola LED, ua hoʻonui nuiʻia ka ikaika o ka LED ma ka PSS.
4.E hoʻemi i nā kumukūʻai hana: ʻOiai he paʻakikī ke kaʻina hana o PSS, hiki iā ia ke hoʻomaikaʻi nui i ka pono luminous a me ke ola o ka LED, a laila e hōʻemi ana i nā kumukūʻai hana i kekahi ʻano a hoʻomaikaʻi i ka hoʻokūkū o ka huahana.
Nā wahi noi nui
1. ʻO ke kukui LED: PSS ma ke ʻano he substrate mea no nā ʻāpana LED, hiki ke hoʻomaikaʻi nui i ka pono luminous a me ke ola o LED.
Ma ke kahua o ke kukui LED, hoʻohana nui ʻia ka PSS i nā huahana kukui like ʻole, e like me nā kukui alanui, nā kukui papaʻaina, nā kukui kaʻa a me nā mea ʻē aʻe.
2. Semiconductor nā mea hana: Ma waho aʻe o nā kukui LED, hiki ke hoʻohanaʻia ka PSS no ka hanaʻana i nā mea hana semiconductor'ē aʻe, e like me nā meaʻike kukui, nā lasers, a me nā mea'ē aʻe.
3.Optoelectronic integration: ʻO nā mea optical a me ka paʻa o PSS e lilo ia i hoʻokahi o nā mea kūpono i ke kahua o ka optoelectronic integration.Ma ka hoʻohui optoelectronic, hiki ke hoʻohanaʻia ka PSS e hana i nā alakaʻi nalu, nā mea hoʻololi a me nā mea'ē aʻe eʻike ai i ka laweʻana a me ka hanaʻana i nā hōʻailona optical.
Nā palena ʻenehana
'ikamu | Lapaʻa Sapphire i hoʻohālikelike ʻia (2~6 iniha) | ||
Anawaena | 50.8 ± 0.1 mm | 100.0 ± 0.2 mm | 150.0 ± 0.3 mm |
mānoanoa | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
Kūlana ʻili | C-plane (0001) off-angle i ka M-axis (10-10) 0.2 ± 0.1° | ||
C-plane (0001) off-angle i ka A-axis (11-20) 0 ± 0.1° | |||
Kūlana Pāha mua | A-Plane (11-20) ± 1.0° | ||
Ka lōʻihi pālahalaha | 16.0 ± 1.0 mm | 30.0 ± 1.0 mm | 47.5 ± 2.0 mm |
R-Plane | hora 9 | ||
Hoʻopau ʻili i mua | Hoʻohālike | ||
Hoʻopau i hope | SSP: ʻĀina maikaʻi, Ra=0.8-1.2um; DSP: Epi-polished, Ra<0.3nm | ||
Hōʻailona Laser | ʻaoʻao hope | ||
TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
PAHU | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
WARP | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
Hoʻokuʻu Edge | ≤2 mm | ||
Hōʻike Kūlana | Hoʻonaʻauao ʻano | Dome, Cone, Pyramid | |
Kiʻekiʻe kiʻekiʻe | 1.6~1.8μm | ||
Anawaena Kiana | 2.75~2.85μm | ||
Wahi Laana | 0.1~0.3μm |
Ke nānā aku nei ʻo XKH i ka hoʻomohala ʻana, ka hana ʻana a me ke kūʻai aku ʻana i ka substrate sapphire patterned (PSS), a ua kūpaʻa ʻo ia i ka hāʻawi ʻana i nā huahana PSS kiʻekiʻe, hana kiʻekiʻe i nā mea kūʻai aku a puni ka honua. Loaʻa iā XKH ka ʻenehana hana kiʻekiʻe a me ka hui ʻenehana loea, hiki iā ia ke hana i nā huahana PSS me nā kikoʻī like ʻole a me nā ʻano hoʻohālike like ʻole e like me nā pono o ka mea kūʻai. I ka manawa like, hoʻolohe ʻo XKH i ka maikaʻi o ka huahana a me ka maikaʻi o ka lawelawe, a ua kūpaʻa ʻo ia i ka hāʻawi ʻana i nā mea kūʻai aku i ke kākoʻo ʻenehana piha a me nā hoʻonā. Ma ke kahua o PSS, ua hōʻiliʻili ʻo XKH i ka ʻike waiwai a me nā pōmaikaʻi, a ke kakali nei i ka hana pū ʻana me nā hoa pili honua e hoʻoikaika pū i ka hoʻomohala ʻana o nā kukui LED, nā mea semiconductor a me nā ʻoihana ʻē aʻe.
Kiʻi kikoʻī


