2 ʻīniha 4 ʻīniha 6 ʻīniha Patterned Sapphire Substrate (PSS) kahi i ulu ai ka mea GaN hiki ke hoʻohana no ke kukui LED

Wehewehe Pōkole:

ʻO ka ʻano sapphire substrate (PSS) he uhi maka no ke kālai maloʻo ʻana ma luna o ka ʻano sapphire, ua kālai ʻia ka uhi maka me kahi ʻano ma o ke kaʻina hana lithography maʻamau, a laila kālai ʻia ka sapphire e ka ʻenehana kālai ICP, a wehe ʻia ka uhi maka, a ʻo ka hope loa ua ulu ʻia ka mea GaN ma luna, i lilo ai ka epitaxy longitudinal o ka mea GaN i epitaxy horizontal. Pili kēia kaʻina hana i kekahi mau ʻanuʻu e like me ka uhi photoresist, ka hōʻike ʻana i nā ʻanuʻu, ka hoʻomohala ʻana i ke ʻano hōʻike, ka kālai maloʻo ICP a me ka hoʻomaʻemaʻe.

E leka uila mai iā mākou

Nā hiʻohiʻona

Nā hiʻohiʻona nui

1. Nā ʻano kūkulu:
He ʻano cone hoʻonohonoho a i ʻole triangular conical ka ʻili o ka PSS nona ke ʻano, ka nui a me ka hoʻolaha ʻana e hiki ke hoʻomalu ʻia ma ka hoʻoponopono ʻana i nā palena o ke kaʻina hana etching.
Kōkua kēia mau ʻano hana kiʻi i ka hoʻololi ʻana i ke ala hoʻolaha o ka mālamalama a hoʻemi i ka ʻōlinolino holoʻokoʻa o ka mālamalama, a pēlā e hoʻomaikaʻi ai i ka pono o ka unuhi ʻana i ka mālamalama.

2. Nā ʻano mea:
Hoʻohana ʻo PSS i ka sapphire kiʻekiʻe ma ke ʻano he substrate material, nona nā ʻano o ka paʻakikī kiʻekiʻe, ka conductivity thermal kiʻekiʻe, ke kūpaʻa kemika maikaʻi a me ka optical transparency.
ʻO kēia mau ʻano e hiki ai i ka PSS ke kū i nā ʻano ʻino e like me ke kiʻekiʻe o nā mahana a me nā kaomi me ka mālama ʻana i ka hana optical maikaʻi loa.

3. Hana Optical:
Ma ka hoʻololi ʻana i ka hoʻopuehu nui ʻana ma ka pilina ma waena o GaN a me ka substrate sapphire, hana ʻo PSS i nā photons i hōʻike piha ʻia i loko o ka papa GaN i kahi manawa e pakele ai mai ka substrate sapphire.
Hoʻomaikaʻi nui kēia hiʻohiʻona i ka pono o ka unuhi ʻana i ke kukui o ka LED a hoʻonui i ka ikaika luminous o ka LED.

4. Nā ʻano hana:
He paʻakikī ke kaʻina hana ʻana o PSS, e pili ana i nā ʻanuʻu he nui e like me ka lithography a me ke kālai ʻana, a koi aku i nā lako hana kiʻekiʻe a me ka kaohi kaʻina hana.
Eia nō naʻe, me ka holomua mau o ka ʻenehana a me ka hōʻemi ʻana o nā kumukūʻai, ua hoʻonui mālie ʻia a hoʻomaikaʻi ʻia ke kaʻina hana o PSS.

Pōmaikaʻi koʻikoʻi

1. Hoʻomaikaʻi i ka pono o ka unuhi ʻana i ke kukui: Hoʻomaikaʻi nui ka PSS i ka pono o ka unuhi ʻana i ke kukui o ka LED ma ka hoʻololi ʻana i ke ala hoʻolaha kukui a me ka hōʻemi ʻana i ka ʻōlinolino holoʻokoʻa.

2. Hoʻolōʻihi i ke ola LED: Hiki i ka PSS ke hōʻemi i ka dislocation density o nā mea epitaxial GaN, no laila e hōʻemi ana i ka recombination non-radiative a hoʻohuli i ke au leakage i ka ʻāpana hana, e hoʻolōʻihi ana i ke ola o ka LED.

3. Hoʻonui i ka ʻōlinolino LED: Ma muli o ka hoʻomaikaʻi ʻana o ka pono o ka unuhi ʻana i ke kukui a me ka hoʻolōʻihi ʻana i ke ola o ka LED, ua hoʻonui nui ʻia ka ikaika luminous LED ma ka PSS.

4.E hōʻemi i nā kumukūʻai hana: ʻOiai he paʻakikī ke kaʻina hana o PSS, hiki iā ia ke hoʻomaikaʻi nui i ka pono o ka mālamalama a me ke ola o ka LED, a laila e hōʻemi ana i nā kumukūʻai hana i kekahi ʻano a hoʻomaikaʻi i ka hoʻokūkū o ka huahana.

Nā wahi noi nui

1. Ke kukui LED: ʻO PSS ma ke ʻano he mea substrate no nā chips LED, hiki ke hoʻomaikaʻi nui i ka pono luminous a me ke ola o ka LED.
Ma ke kahua o ke kukui LED, hoʻohana nui ʻia ʻo PSS i nā huahana kukui like ʻole, e like me nā kukui alanui, nā kukui papaʻaina, nā kukui kaʻa a pēlā aku.

2. Nā mea hana Semiconductor: Ma waho aʻe o ke kukui LED, hiki ke hoʻohana ʻia ka PSS e hana i nā mea hana semiconductor ʻē aʻe, e like me nā mea ʻike kukui, nā lasers, a pēlā aku. Loaʻa i kēia mau mea hana kahi ākea o nā noi i ke kamaʻilio ʻana, ka lāʻau lapaʻau, ka pūʻali koa a me nā ʻoihana ʻē aʻe.

3. Hoʻohui ʻana optoelectronic: ʻO nā waiwai optical a me ke kūpaʻa o PSS e lilo ia i hoʻokahi o nā mea kūpono ma ke kahua o ka hoʻohui optoelectronic. Ma ka hoʻohui optoelectronic, hiki ke hoʻohana ʻia ka PSS e hana i nā waveguides optical, nā kuapo optical a me nā ʻāpana ʻē aʻe e hoʻomaopopo ai i ka hoʻoili ʻana a me ka hana ʻana o nā hōʻailona optical.

Nā palena loea

Mea	ʻO ka Substrate Sapphire i hoʻohālikelike ʻia (2 ~ 6 ʻīniha)
Anawaena	50.8 ± 0.1 mm	100.0 ± 0.2 mm	150.0 ± 0.3 mm
Mānoanoa	430 ± 25μm	650 ± 25μm	1000 ± 25μm
Kūlana ʻIli	ʻO ka mokulele C (0001) ma waho o ke kihi i ke axis M (10-10) 0.2 ± 0.1°
	C-plane (0001) ʻokoʻa ke kihi i ke axis A (11-20) 0 ± 0.1°
Kūlana Pālahalaha Mua	Papahele-A (11-20) ± 1.0°
Ka Lōʻihi Palahalaha Mua	16.0 ± 1.0 mm	30.0 ± 1.0 mm	47.5 ± 2.0 mm
R-Mokulele	hola 9
Hoʻopau ʻili mua	Hoʻolālā ʻia
Hoʻopau ʻili hope	SSP: Wili maikaʻi ʻia, Ra = 0.8-1.2um; DSP: ʻIli ʻia ʻo Epi, Ra <0.3nm
Māka Laser	ʻAoʻao hope
TTV	≤8μm	≤10μm	≤20μm
KAKAUOHA	≤10μm	≤15μm	≤25μm
WARP	≤12μm	≤20μm	≤30μm
Hoʻokaʻawale ʻana i ka lihi	≤2 mm
Kikoʻī Hoʻohālike	ʻAno Hoʻonohonoho	Dome, Cone, Pyramid
	Kiʻekiʻe o ke ʻano	1.6 ~ 1.8μm
	Anawaena Hoʻohālike	2.75~2.85μm
	Kahua Hoʻohālike	0.1~0.3μm

Ke kālele nei ʻo XKH i ka hoʻomohala ʻana, ka hana ʻana a me ke kūʻai aku ʻana i ka substrate sapphire patterned (PSS), a ua kūpaʻa ʻo ia i ka hāʻawi ʻana i nā huahana PSS kiʻekiʻe a hana kiʻekiʻe i nā mea kūʻai aku a puni ka honua. Loaʻa iā XKH ka ʻenehana hana holomua a me ka hui loea ʻoihana, hiki ke hoʻopilikino i nā huahana PSS me nā kikoʻī like ʻole a me nā ʻano hoʻohālike like ʻole e like me nā pono o ka mea kūʻai aku. I ka manawa like, mālama ʻo XKH i ka maikaʻi o ka huahana a me ka maikaʻi o ka lawelawe, a ua kūpaʻa ʻo ia i ka hāʻawi ʻana i nā mea kūʻai aku me kahi laulā piha o ke kākoʻo loea a me nā hoʻonā. Ma ke kahua o PSS, ua hōʻiliʻili ʻo XKH i ka ʻike nui a me nā pono, a ke kakali nei i ka hana pū ʻana me nā hoa honua e hoʻolaha pū i ka hoʻomohala hou ʻana o nā kukui LED, nā mea semiconductor a me nā ʻoihana ʻē aʻe.