2 ʻīniha 4 ʻīniha 6 ʻīniha kumu Sapphire Substrate (PSS) kahi i ulu ai nā mea GaN hiki ke hoʻohana no ke kukui LED.

ʻO ka wehewehe pōkole:

ʻO ka patterned sapphire substrate (PSS) he mask no ka etching maloʻo ma luna o ka sapphire substrate, ua kahakaha ʻia ka mask me ke ʻano ma ke kaʻina lithography maʻamau, a laila hoʻopaʻa ʻia ka sapphire e ka ʻenehana etching ICP, a wehe ʻia ka mask, a ma hope ua ulu ʻia ka mea GaN ma luna o laila, i lilo ka epitaxy longitudinal o Gapitaxy material. Aia kēia kaʻina hana i kekahi mau ʻanuʻu e like me ka uhi ʻana i ka photoresist, ka ʻike ʻana i ka pae, ka hoʻomohala ʻana i ke ʻano hoʻohālike, ka etching maloʻo ICP a me ka hoʻomaʻemaʻe.


Huahana Huahana

Huahana Huahana

Nā hiʻohiʻona nui

1. Nā hiʻohiʻona hoʻolālā:
Aia ka ʻili o ka PSS i kahi cone kūpono a i ʻole triangular conical pattern nona ke ʻano, ka nui a me ka laha ʻana hiki ke hoʻomalu ʻia ma ka hoʻoponopono ʻana i nā ʻāpana kaʻina hana etching.
Kōkua kēia mau kiʻi kiʻi i ka hoʻololi ʻana i ke ala hoʻolaha o ka mālamalama a hoʻemi i ka nānā ʻana o ka mālamalama, pēlā e hoʻomaikaʻi ai i ka pono o ka lawe ʻana i ka māmā.

2. Nā hiʻohiʻona waiwai:
Hoʻohana ʻo PSS i ka sapphire kiʻekiʻe ma ke ʻano he substrate material, nona nā ʻano o ka paʻakikī kiʻekiʻe, ka conductivity thermal kiʻekiʻe, ke kūpaʻa kemika maikaʻi a me ka ʻike ʻike.
ʻO kēia mau hiʻohiʻona e hiki ai iā PSS ke kū'ē i nā kaiapuni koʻikoʻi e like me ke kiʻekiʻe o nā mahana a me nā pilikia me ka mālamaʻana i ka hana optical maikaʻi loa.

3. Hoʻokō Optical:
Ma ka hoʻololi ʻana i ka hoʻopuehu nui ʻana ma ke kikowaena ma waena o GaN a me ka substrate sapphire, hana ka PSS i nā kiʻi i ʻike ʻia i loko o ka papa GaN i loaʻa ka manawa e pakele ai mai ka substrate sapphire.
ʻO kēia hiʻohiʻona e hoʻomaikaʻi nui i ka pono o ka lawe ʻana i ka māmā o ka LED a hoʻonui i ka ikaika o ka mālamalama o ke LED.

4. Kaʻina hana:
He paʻakikī ke kaʻina hana o PSS, e pili ana i nā ʻanuʻu he nui e like me ka lithography a me ka etching, a koi i nā mea hana kiʻekiʻe a me ka mana kaʻina hana.
Eia nō naʻe, me ka holomua mau o ka ʻenehana a me ka hōʻemi ʻana i nā kumukūʻai, hoʻomaikaʻi maikaʻi ʻia ke kaʻina hana o PSS.

Pono kumu

1.E hoʻomaikaʻi i ka pono o ka lawe ʻana i ka māmā: Hoʻomaikaʻi nui ʻo PSS i ka hoʻomaʻamaʻa ʻana i ka māmā o ka LED ma o ka hoʻololi ʻana i ke ala hoʻolaha māmā a me ka hōʻemi ʻana i ka noʻonoʻo holoʻokoʻa.

2. Hoʻolōʻihi i ke ola LED: Hiki i ka PSS ke hoʻemi i ka dislocation density o nā mea epitaxial GaN, a laila e hōʻemi ana i ka recombination non-radiative a me ka hoʻohuli ʻana i ka leakage i kēia manawa i ka ʻāina ikaika, e hoʻolōʻihi i ke ola o LED.

3.E hoʻonui i ka'ōlinolino LED: Ma muli o ka hoʻomaikaʻiʻana i ka pono o ka laweʻana i ka māmā a me ka hoʻonuiʻana i ke ola LED, ua hoʻonui nuiʻia ka ikaika o ka LED ma ka PSS.

4.E hoʻemi i nā kumukūʻai hana: ʻOiai he paʻakikī ke kaʻina hana o PSS, hiki iā ia ke hoʻomaikaʻi nui i ka pono luminous a me ke ola o ka LED, a laila e hōʻemi ana i nā kumukūʻai hana i kekahi ʻano a hoʻomaikaʻi i ka hoʻokūkū o ka huahana.

Nā wahi noi nui

1. ʻO ke kukui LED: PSS ma ke ʻano he substrate mea no nā ʻāpana LED, hiki ke hoʻomaikaʻi nui i ka pono luminous a me ke ola o LED.
Ma ke kahua o ke kukui LED, hoʻohana nui ʻia ka PSS i nā huahana kukui like ʻole, e like me nā kukui alanui, nā kukui papaʻaina, nā kukui kaʻa a me nā mea ʻē aʻe.

2. Semiconductor nā mea hana: Ma waho aʻe o nā kukui LED, hiki ke hoʻohanaʻia ka PSS no ka hanaʻana i nā mea hana semiconductor'ē aʻe, e like me nā meaʻike kukui, nā lasers, a me nā mea'ē aʻe.

3.Optoelectronic integration: ʻO nā mea optical a me ka paʻa o PSS e lilo ia i hoʻokahi o nā mea kūpono i ke kahua o ka optoelectronic integration.Ma ka hoʻohui optoelectronic, hiki ke hoʻohanaʻia ka PSS e hana i nā alakaʻi nalu, nā mea hoʻololi a me nā mea'ē aʻe eʻike ai i ka laweʻana a me ka hanaʻana i nā hōʻailona optical.

Nā palena ʻenehana

'ikamu Lapaʻa Sapphire i hoʻohālikelike ʻia (2~6 iniha)
Anawaena 50.8 ± 0.1 mm 100.0 ± 0.2 mm 150.0 ± 0.3 mm
mānoanoa 430 ± 25μm 650 ± 25μm 1000 ± 25μm
Kūlana ʻili C-plane (0001) off-angle i ka M-axis (10-10) 0.2 ± 0.1°
C-plane (0001) off-angle i ka A-axis (11-20) 0 ± 0.1°
Kūlana Pāha mua A-Plane (11-20) ± 1.0°
Ka lōʻihi pālahalaha 16.0 ± 1.0 mm 30.0 ± 1.0 mm 47.5 ± 2.0 mm
R-Plane hora 9
Hoʻopau ʻili i mua Hoʻohālike
Hoʻopau i hope SSP: ʻĀina maikaʻi, Ra=0.8-1.2um; DSP: Epi-polished, Ra<0.3nm
Hōʻailona Laser ʻaoʻao hope
TTV ≤8μm ≤10μm ≤20μm
PAHU ≤10μm ≤15μm ≤25μm
WARP ≤12μm ≤20μm ≤30μm
Hoʻokuʻu Edge ≤2 mm
Hōʻike Kūlana Hoʻonaʻauao ʻano Dome, Cone, Pyramid
Kiʻekiʻe kiʻekiʻe 1.6~1.8μm
Anawaena Kiana 2.75~2.85μm
Wahi Laana 0.1~0.3μm

Ke nānā aku nei ʻo XKH i ka hoʻomohala ʻana, ka hana ʻana a me ke kūʻai aku ʻana i ka substrate sapphire patterned (PSS), a ua kūpaʻa ʻo ia i ka hāʻawi ʻana i nā huahana PSS kiʻekiʻe, hana kiʻekiʻe i nā mea kūʻai aku a puni ka honua. Loaʻa iā XKH ka ʻenehana hana kiʻekiʻe a me ka hui ʻenehana loea, hiki iā ia ke hana i nā huahana PSS me nā kikoʻī like ʻole a me nā ʻano hoʻohālike like ʻole e like me nā pono o ka mea kūʻai. I ka manawa like, hoʻolohe ʻo XKH i ka maikaʻi o ka huahana a me ka maikaʻi o ka lawelawe, a ua kūpaʻa ʻo ia i ka hāʻawi ʻana i nā mea kūʻai aku i ke kākoʻo ʻenehana piha a me nā hoʻonā. Ma ke kahua o PSS, ua hōʻiliʻili ʻo XKH i ka ʻike waiwai a me nā pōmaikaʻi, a ke kakali nei i ka hana pū ʻana me nā hoa pili honua e hoʻoikaika pū i ka hoʻomohala ʻana o nā kukui LED, nā mea semiconductor a me nā ʻoihana ʻē aʻe.

Kiʻi kikoʻī

ʻO ka Lapa Sapphire i hoʻohālikelike ʻia (PSS) 6
ʻO ka Lapa Sapphire i hoʻohālikelike ʻia (PSS) 5
ʻO ka Lapa Sapphire i hoʻohālikelike ʻia (PSS) 4

  • Mua:
  • Aʻe:

  • E kākau i kāu leka ma aneʻi a hoʻouna mai iā mākou