ʻO ka LNOI Wafer (Lithium Niobate ma ka Insulator) Kelepona ʻIke Kiʻekiʻe Electro-Optic
Kiʻikuhi kikoʻī
ʻIke laulā
Aia i loko o ka pahu wafer nā ʻauwaha symmetrical, nona nā ana he like loa e kākoʻo i nā ʻaoʻao ʻelua o ka wafer. Hana ʻia ka pahu kristal i ka mea PP plastic translucent i kū i ka mahana, ka ʻaʻahu a me ka uila static. Hoʻohana ʻia nā kala like ʻole o nā mea hoʻohui e hoʻokaʻawale i nā ʻāpana hana metala i ka hana semiconductor. Ma muli o ka liʻiliʻi o ka nui o nā semiconductors, nā ʻano mānoanoa, a me nā koi nui o nā ʻāpana koʻikoʻi i ka hana ʻana, pono e hōʻoia ʻia ka pahu wafer i kahi kaiapuni maʻemaʻe e hoʻopili ai i ka lua hopena pahu microenvironment o nā mīkini hana like ʻole.
ʻAno Hana Hana
ʻO ka hana ʻana o nā wafers LNOI he mau ʻanuʻu kikoʻī kekahi:
KaʻAnuʻu Hana 1: Hoʻokomo ʻana o ka Helium IonHoʻokomo ʻia nā ion Helium i loko o kahi kristal LN nui me ka hoʻohana ʻana i kahi mea hoʻokomo ion. Noho kēia mau ion ma kahi hohonu kikoʻī, e hana ana i kahi mokulele nāwaliwali e kōkua ai i ka wehe ʻana o ka ʻili.
KaʻAnuʻu Hana 2: Ka Hoʻokumu ʻana o ka Substrate BaseHoʻomake ʻia a hoʻopaʻa ʻia paha kahi wafer silicon a LN ʻokoʻa me SiO2 me ka hoʻohana ʻana i ka PECVD a i ʻole ka hoʻomake wela. Ua hoʻolālā ʻia kona ʻili luna no ka hoʻopili maikaʻi loa.
KaʻAnuʻu Hana 3: Hoʻopaʻa ʻana o LN i ka SubstrateHoʻohuli ʻia ke aniani LN i hoʻokomo ʻia ion a hoʻopili ʻia i ka wafer kumu me ka hoʻohana ʻana i ka hoʻopili pololei ʻana o ka wafer. Ma nā wahi noiʻi, hiki ke hoʻohana ʻia ka benzocyclobutene (BCB) ma ke ʻano he mea hoʻopili e hoʻomaʻalahi i ka hoʻopili ʻana ma lalo o nā kūlana ʻoi aku ka paʻakikī.
KaʻAnuʻu Hana 4: Ka Hana ʻana i ka Wera a me ka Hoʻokaʻawale ʻAna i ke KiʻiʻoniʻoniHoʻoulu ka hoʻoheheʻe ʻana i ka hoʻokumu ʻana o ka pehu ma ka hohonu i hoʻokomo ʻia, e hiki ai ke hoʻokaʻawale i ka ʻili lahilahi (ka papa LN luna) mai ka nui. Hoʻohana ʻia ka ikaika mechanical e hoʻopau i ka exfoliation.
KaʻAnuʻu Hana 5: Ka Polishing ʻIliHoʻopili ʻia ka Chemical Mechanical Polishing (CMP) e hoʻomālie i ka ʻili LN luna, e hoʻomaikaʻi ana i ka maikaʻi optical a me ka hua o ka hāmeʻa.
Nā Palena ʻenehana
| Mea Hana | ʻIke maka Papa LiNbO3 nā wafe (Keʻokeʻo or ʻeleʻele) | |
| ʻO Curie Mahana | 1142 ± 0.7 ℃ | |
| ʻOki ʻana Kihi | X/Y/Z a pēlā aku | |
| Anawaena/nui | 2”/3”/4” ±0.03mm | |
| Tol(±) | <0.20 mm ±0.005mm | |
| Mānoanoa | 0.18～0.5mm a ʻoi aku paha | |
| Kula Haʻahaʻa Pālahalaha | 16mm/22mm/32mm | |
| TTV | <3μm | |
| Kakaka | -30 | |
| ʻŌwiliwili | <40μm | |
| Hoʻonohonoho Pālahalaha | Loaʻa nā mea āpau | |
| ʻIli ʻAno | ʻAoʻao hoʻokahi i hoʻopili ʻia (SSP) / ʻAoʻao pālua i hoʻopili ʻia (DSP) | |
| Hoʻopololei ʻia ʻaoʻao Ra | <0.5nm | |
| S/D | 20/10 | |
| Ka lihi Nā Kūlana | R=0.2mm ʻAno-C or Ihu pulu | |
| Kūlana | Manuahi of māwae (nā pehu a me nā mea i hoʻokomo ʻia) | |
| ʻIke maka hoʻohui ʻia | Mg/Fe/Zn/MgO a pēlā aku no ʻike maka papa LN nā wafers no kēlā me kēia i noi ʻia | |
| Wafer ʻIli Nā Kūlana | ʻIkepili refractive | ʻAʻole=2.2878/Ne=2.2033 @632nm ke ʻano hana hoʻohui nalu/prisma. |
| Hoʻohaumia, | ʻAʻohe | |
| Nā ʻāpana c>0.3μ m | <=30 | |
| ʻŌwili, ʻokiʻoki | ʻAʻohe | |
| kīnā | ʻAʻohe māwae lihi, nā ʻōpala, nā māka ʻoki, nā ʻōpala | |
| Ka hoʻopili ʻana | Ka nui/pahu Wafer | 25pcs no kēlā me kēia pahu |
Nā Hihia Hoʻohana
Ma muli o kona versatility a me ka hana, hoʻohana ʻia ʻo LNOI ma nā ʻoihana he nui:
Nā kiʻi paʻi kiʻi:Nā modulators liʻiliʻi, nā multiplexers, a me nā kaapuni photonic.
RF/Acoustics:Nā mea hoʻololi acousto-optic, nā kānana RF.
Ka helu ʻana o Quantum:Nā mea hoʻohuihui alapine (frequency mixes) ʻaʻole laina a me nā mea hana photon-pair.
Palekana & Aerospace:Nā gyros optical haʻahaʻa-pohō, nā mea hana hoʻololi alapine.
Nā Mea Lapaʻau:Nā biosensors optical a me nā probes hōʻailona alapine kiʻekiʻe.
Nā nīnau i nīnau pinepine ʻia
Q: No ke aha i makemake ʻia ai ʻo LNOI ma mua o SOI i nā ʻōnaehana optical?
A:Loaʻa iā LNOI nā coefficients electro-optic kiʻekiʻe a me ka laulā transparency ākea, e hiki ai ke hana kiʻekiʻe aʻe i nā kaapuni photonic.
Q: He mea koi ʻia ka CMP ma hope o ka māhele ʻana?
A:ʻAe. He ʻāpiki ka ʻili LN i hōʻike ʻia ma hope o ka ʻoki ʻana i ka ion a pono e hoʻopili ʻia e hoʻokō i nā kikoʻī papa optical.
Q: He aha ka nui o ka wafer nui loa i loaʻa?
A:ʻO ke kumu nui o nā wafers LNOI kālepa he 3” a me 4”, ʻoiai ke hoʻomohala nei kekahi mau mea hoʻolako i nā ʻano like ʻole he 6”.
Q: Hiki ke hoʻohana hou ʻia ka papa LN ma hope o ka māhele ʻana?
A:Hiki ke hoʻopili hou ʻia ke kristal kumu a hoʻohana hou ʻia i nā manawa he nui, ʻoiai e emi paha ka maikaʻi ma hope o nā pōʻaiapuni he nui.
Q: Kūpono anei nā wafers LNOI me ka hana ʻana o CMOS?
A:ʻAe, ua hoʻolālā ʻia lākou e kūlike me nā kaʻina hana semiconductor maʻamau, ʻoiai ke hoʻohana ʻia nā substrates silicon.
