LNOI Wafer (Lithium Niobate on Insulator) Telecommunications Sensing High Electro-Optic

ʻO ka wehewehe pōkole:

ʻO LNOI (Lithium Niobate on Insulator) e hōʻike ana i kahi paepae hoʻololi i nā nanophotonics, e hoʻohui ana i nā hiʻohiʻona kiʻekiʻe o ka lithium niobate me ka hoʻoponopono silicon-compatible. Me ka hoʻohana ʻana i kahi ʻano Smart-Cut ™ i hoʻololi ʻia, hoʻokaʻawale ʻia nā kiʻiʻoniʻoni LN lahilahi mai nā kristal nui a hoʻopaʻa ʻia i nā substrate insulating, e hana ana i kahi puʻupuʻu hybrid hiki ke kākoʻo i nā ʻenehana optical, RF, a me quantum.


Nā hiʻohiʻona

Kiʻi kikoʻī

LNOI 3
LiNbO3-4

Nānā nui

Aia i loko o ka pahu wafer nā ʻāpana symmetrical, ʻo ka nui o ia mau ʻano like ʻole e kākoʻo i nā ʻaoʻao ʻelua o ka wafer. Hana ʻia ka pahu aniani me ka mea translucent plastic PP i kū i ka wela, ka lole a me ka uila static. Hoʻohana ʻia nā kala like ʻole o nā additives e hoʻokaʻawale i nā ʻāpana kaʻina hana metala i ka hana semiconductor. Ma muli o ka liʻiliʻi o nā kī liʻiliʻi o nā semiconductor, nā hiʻohiʻona paʻa, a me nā koi koʻikoʻi o ka nui o ka ʻāpana i ka hana ʻana, pono e hōʻoia ʻia ka pahu wafer i kahi kaiapuni maʻemaʻe e hoʻopili ai i ka microenvironment box reaction cavity o nā mīkini hana like ʻole.

Hana Hana

ʻO ka hana ʻana i nā wafers LNOI he mau ʻanuʻu kūpono:

KaʻAnuʻu Hana 1: Helium Ion ImplantationHoʻokomo ʻia nā ion helium i loko o kahi aniani LN nui me ka hoʻohana ʻana i kahi implanter ion. Hoʻokomo kēia mau ion i kahi hohonu kikoʻī, e hana ana i kahi mokulele nāwaliwali e hoʻomaʻamaʻa i ka wehe ʻana i ke kiʻiʻoniʻoni.

KaʻAnuʻu 2: Hoʻokumu i ka substrate kumuHoʻokaʻawale ʻia a hoʻopaʻa ʻia me ka SiO2 me ka hoʻohana ʻana i ka PECVD a i ʻole ka wela wela. Hoʻolālā ʻia kona ʻili luna no ka hoʻopili maikaʻi ʻana.

KaʻAnuʻu Hana 3: Hoʻopaʻa ʻia o LN i ka substrateHoʻopili ʻia ka kristal LN i hoʻokomo ʻia i ka ion a hoʻopili ʻia i ka wafer kumu me ka hoʻohana ʻana i ka paʻa wafer pololei. Ma nā hoʻonohonoho noiʻi, hiki ke hoʻohana ʻia ka benzocyclobutene (BCB) i mea hoʻopili e hoʻomaʻamaʻa i ka hoʻopaʻa ʻana ma lalo o nā kūlana paʻakikī.

KaʻAnuʻu Hana 4: Hoʻomaʻamaʻa Thermal a me ka wehe ʻana i ke kiʻiʻoniʻoniHoʻoulu ka Annealing i ka hoʻokumu ʻana i ka ʻōpū ma ka hohonu i hoʻokomo ʻia, e hiki ai ke hoʻokaʻawale i ke kiʻi ʻoniʻoni lahilahi (luna LN layer) mai ka nui. Hoʻohana ʻia ka ikaika mechanical e hoʻopau i ka exfoliation.

KaʻAnuʻu Hana 5: Kaʻili ʻiliHoʻohana ʻia ka Chemical Mechanical Polishing (CMP) e hoʻomaʻemaʻe i ka ʻili o LN luna, e hoʻomaikaʻi i ka maikaʻi o ka optical a me ka hua o nā mea hana.

Nā ʻāpana ʻenehana

Mea waiwai

Optical Papa LiNbO3 wafes(Keʻokeʻo or ʻeleʻele)

Curie Temp

1142±0.7 ℃

ʻoki ʻoki Angle

X/Y/Z etc

Anawaena/nui

2”/3”/4” ±0.03mm

Tol(±)

<0.20 mm ±0.005mm

mānoanoa

0.18~0.5mm a ʻoi aku paha

Papahana Palahalaha

16mm/22mm/32mm

TTV

<3μm

Kakaka

-30

Warp

<40μm

Kūlana Palahalaha

Loaʻa nā mea a pau

Ili ʻAno

Hoʻomaʻamaʻa ʻia ka ʻaoʻao hoʻokahi (SSP)/ʻaoʻao ʻelua ʻaoʻao i poni ʻia (DSP)

Hoʻomaʻamaʻa ʻia aoao Ra

<0.5nm

S/D

20/10

Kaulana Kūkākūkā R=0.2mm ʻAno-C or Bullnose
ʻAno maikaʻi Kuokoa of māwae(puehu a hoʻokomo)
Optical doped Mg/Fe/Zn/MgO etc no ka mea optical papa LN wafers per noi ʻia
Wafer Ili Kūkākūkā

Hōʻike hōʻike

ʻAʻole=2.2878/Ne=2.2033 @632nm ka lōʻihi hawewe/prism coupler method.

hoʻohaumia,

ʻAʻohe

Nā ʻāpana c>0.3μ m

<=30

ʻAkaʻi, ʻokiʻoki

ʻAʻohe

ʻO ke kīnā

ʻAʻohe māwae kaʻe, nā ʻōpala, nā māka ʻike, nā ʻili
Hoʻopili ʻia

Ka nui/Wafer pahu

25pcs no ka pahu

Hoʻohana i nā hihia

Ma muli o kona maʻalahi a me kāna hana, hoʻohana ʻia ʻo LNOI ma nā ʻoihana he nui:

Photonics:ʻO nā modulators compact, multiplexers, a me nā kaapuni photonic.

RF/Acoustics:Acousto-optic modulators, RF kānana.

Kuantum Computing:ʻO nā mea hoʻohui alapine ʻole a me nā mea hana paʻa photon.

Palekana & Aerospace:ʻO nā gyros optical haʻahaʻa, nā mea hoʻololi pinepine.

Lapaʻau Lapaʻau:ʻO nā biosensors Optical a me nā hōʻailona hōʻailona kiʻekiʻe.

FAQ

Nīnau: No ke aha i makemake ai ʻo LNOI ma mua o SOI i nā ʻōnaehana optical?

A:Hōʻike ʻo LNOI i nā coefficient electro-optic kiʻekiʻe a me ka laulā ākea ākea, e hiki ai i ka hana kiʻekiʻe ma nā kaapuni photonic.

 

Nīnau: Pono anei ʻo CMP ma hope o ka hoʻokaʻawale ʻana?

A:ʻAe. ʻOkaʻiʻo ka ʻili LN i hōʻike ʻia ma hope o ka ʻoki ʻana i ka ion-slicing a pono e hoʻomaʻamaʻa ʻia no ka hoʻokō ʻana i nā kikoʻī kikoʻī.

Q: He aha ka nui o ka wafer nui loa?

A:ʻO ka nui o nā wafers LNOI kalepa ʻo 3 "a me 4", ʻoiai ke hoʻomohala nei kekahi mau mea hoʻolako i nā ʻano like ʻole 6".

 

Nīnau: Hiki ke hoʻohana hou ʻia ka papa LN ma hope o ka hoʻokaʻawale ʻana?

A:Hiki ke hoʻomaʻamaʻa hou ʻia ke aniani kumu a hoʻohana hou ʻia i nā manawa he nui, ʻoiai e hoʻohaʻahaʻa ka maikaʻi ma hope o nā pōʻai he nui.

 

Nīnau: Ua kūpono anei nā wafers LNOI me ka hana CMOS?

A:ʻAe, ua hoʻolālā ʻia lākou e kūlike me nā kaʻina hana semiconductor maʻamau, ʻoi aku ka nui o ka hoʻohana ʻana i nā substrates silicon.


  • Mua:
  • Aʻe:

  • E kākau i kāu leka ma aneʻi a hoʻouna mai iā mākou