Nā Substrates Composite SiC ʻAno N Dia6inch Monocrystaline kiʻekiʻe a me ka substrate haʻahaʻa
Papa ʻaina maʻamau o nā Substrates Composite SiC ʻAno N
| 项目Nā Mea | 指标Nā kikoʻī | 项目Nā Mea | 指标Nā kikoʻī |
| 直径Anawaena | 150±0.2mm | 正 面 ( 硅 面 ) 粗 糙 度 Ka ʻoʻoleʻa mua (Si-face) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) |
| 晶型Polytype | 4H | ʻĀpana lihi, ʻōpala, māwae (nānā maka) | ʻAʻohe |
| 电阻率Ke kū'ē ʻana | 0.015-0.025ohm ·cm | 总厚度变化TTV | ≤3μm |
| Mānoanoa o ka papa hoʻoili | ≥0.4μm | 翘曲度ʻŌwiliwili | ≤35μm |
| 空洞ʻAʻohe mea | ≤5ea/wafer (2mm>D>0.5mm) | 总厚度Mānoanoa | 350±25μm |
ʻO ke ʻano "N-type" e pili ana i ke ʻano o ka doping i hoʻohana ʻia i nā mea SiC. I loko o ka physics semiconductor, pili ka doping i ka hoʻokomo ʻana i nā mea haumia i loko o kahi semiconductor e hoʻololi i kona mau waiwai uila. Hoʻokomo ka doping ʻano-N i nā mea e hāʻawi ana i ka nui o nā electrons manuahi, e hāʻawi ana i ka mea i kahi ʻano lawe ukana maikaʻi ʻole.
ʻO nā pono o nā substrates composite N-type SiC:
1. Hana wela kiʻekiʻe: Loaʻa iā SiC ka conductivity thermal kiʻekiʻe a hiki ke hana i nā mahana kiʻekiʻe, e kūpono ana no nā noi uila mana kiʻekiʻe a me ke alapine kiʻekiʻe.
2. Ka uila haki kiʻekiʻe: Loaʻa i nā mea SiC kahi uila haki kiʻekiʻe, e hiki ai iā lākou ke kū i nā kahua uila kiʻekiʻe me ka ʻole o ka haki uila.
3. Ke kūpaʻa kemika a me ke kaiapuni: He kūpaʻa kemika ʻo SiC a hiki ke kū i nā kūlana kaiapuni ʻino, e kūpono ai no ka hoʻohana ʻana i nā noi paʻakikī.
4. Hoʻemi ʻia ka pohō mana: Ke hoʻohālikelike ʻia me nā mea kuʻuna i hoʻokumu ʻia i ka silicon, hiki i nā substrates SiC ke hoʻololi i ka mana ʻoi aku ka maikaʻi a hōʻemi i ka pohō mana i nā mea uila.
5. Ka laulā ākea: He ākea ākea ko SiC, e ʻae ana i ka hoʻomohala ʻana o nā mea uila e hiki ke hana ma nā mahana kiʻekiʻe a me nā mānoanoa mana kiʻekiʻe.
Ma keʻano holoʻokoʻa, hāʻawi nā substrates composite N-type SiC i nā pono koʻikoʻi no ka hoʻomohala ʻana i nā hāmeʻa uila hana kiʻekiʻe, ʻoi aku hoʻi i nā noi kahi e koʻikoʻi ai ka hana wela kiʻekiʻe, ka nui o ka mana kiʻekiʻe, a me ka hoʻololi mana kūpono.