Hiki ke hoʻohana ʻia ka Patterned Sapphire Substrate PSS 2inch 4inch 6inch ICP dry etching no nā chips LED
ʻAno koʻikoʻi
1. Nā ʻano mea: ʻO ka mea substrate he sapeiro kristal hoʻokahi (Al₂O₃), me ka paʻakikī kiʻekiʻe, ke kūpaʻa wela kiʻekiʻe a me ke kūpaʻa kemika.
2. ʻAno o ka ʻili: Hoʻokumu ʻia ka ʻili e ka photolithography a me ke kālai ʻana i loko o nā ʻano micro-nano manawa, e like me nā cones, pyramids a i ʻole nā hui hexagonal.
3. Hana Optical: Ma o ka hoʻolālā hoʻohālike ʻili, ua hoʻemi ʻia ka ʻōlinolino holoʻokoʻa o ka mālamalama ma ka interface, a ua hoʻomaikaʻi ʻia ka pono o ka unuhi ʻana i ka mālamalama.
4. Hana wela: Loaʻa i ka substrate Sapphire ka conductivity thermal maikaʻi loa, kūpono no nā noi LED mana kiʻekiʻe.
5. Nā kikoʻī nui: ʻO nā nui maʻamau he 2 ʻīniha (50.8mm), 4 ʻīniha (100mm) a me 6 ʻīniha (150mm).
Nā wahi noi nui
1. Hana ʻana o ka LED:
Hoʻonui i ka pono o ka unuhi ʻana i ke kukui: Hoʻemi ka PSS i ka nalowale o ke kukui ma o ka hoʻolālā ʻana i nā hiʻohiʻona, e hoʻomaikaʻi nui ana i ka ʻōlinolino LED a me ka pono luminous.
Hoʻomaikaʻi ʻia ka maikaʻi o ka ulu ʻana o ka epitaxial: Hāʻawi ke ʻano hoʻohālike i kahi kumu ulu maikaʻi aʻe no nā papa epitaxial GaN a hoʻomaikaʻi i ka hana LED.
2. Diode Laser (LD):
Nā lasers mana kiʻekiʻe: ʻO ke alakaʻi wela kiʻekiʻe a me ke kūpaʻa o PSS he kūpono ia no nā diode laser mana kiʻekiʻe, e hoʻomaikaʻi ana i ka hana hoʻoheheʻe wela a me ka hilinaʻi.
Ka paepae haʻahaʻa: E hoʻonui i ka ulu ʻana o ka epitaxial, e hoʻemi i ke kahe paepae o ka diode laser, a hoʻomaikaʻi i ka pono.
3. Mea ʻike kiʻi:
ʻIke kiʻekiʻe: ʻO ka hoʻoili kukui kiʻekiʻe a me ka haʻahaʻa o ka hemahema o ka PSS e hoʻomaikaʻi i ka ʻike a me ka wikiwiki o ka pane ʻana o ka photodetector.
Pane spectral ākea: kūpono no ka ʻike photoelectric ma ka ultraviolet a i ka laulā ʻike ʻia.
4. Nā mea uila mana:
Ke kūpaʻa uila kiʻekiʻe: ʻO ke kūpaʻa kiʻekiʻe o ka Sapphire a me ke kūpaʻa wela e kūpono no nā mea hana mana uila kiʻekiʻe.
Hoʻopau wela kūpono: Hoʻomaikaʻi ka conductivity thermal kiʻekiʻe i ka hana hoʻopau wela o nā mea mana a hoʻolōʻihi i ke ola lawelawe.
5. Nā mea hana Rf:
Hana alapine kiʻekiʻe: ʻO ka pohō dielectric haʻahaʻa a me ke kūpaʻa wela kiʻekiʻe o PSS e kūpono no nā polokalamu RF alapine kiʻekiʻe.
Haʻahaʻa walaʻau: ʻO ka pālahalaha kiʻekiʻe a me ka haʻahaʻa o ka hemahema e hōʻemi i ka walaʻau o ka hāmeʻa a hoʻomaikaʻi i ka maikaʻi o ka hōʻailona.
6. Nā mea ʻike bio:
Ka ʻike ʻana i ke koʻikoʻi kiʻekiʻe: ʻO ka hoʻoili kukui kiʻekiʻe a me ke kūpaʻa kemika o PSS he kūpono ia no nā biosensors koʻikoʻi kiʻekiʻe.
Biocompatibility: ʻO ka biocompatibility o ka sapphire e kūpono ia no nā noi lapaʻau a me ka biodetection.
ʻO ke kumu sapphire i hoʻohālikelike ʻia (PSS) me ka mea epitaxial GaN:
ʻO ka substrate sapphire i hoʻohālikelike ʻia (PSS) kahi substrate kūpono no ka ulu ʻana o GaN (gallium nitride) epitaxial. Ua kokoke ke kūpaʻa lattice o ka sapphire iā GaN, hiki ke hōʻemi i nā mismatches lattice a me nā hemahema i ka ulu ʻana o epitaxial. ʻAʻole wale ka hoʻolālā micro-nano o ka ʻili PSS e hoʻomaikaʻi i ka pono o ka unuhi ʻana o ka mālamalama, akā hoʻomaikaʻi pū i ka maikaʻi o ke kristal o ka papa epitaxial GaN, no laila e hoʻomaikaʻi ana i ka hana a me ka hilinaʻi o ka LED.
Nā palena loea
| Mea | ʻO ka Substrate Sapphire i hoʻohālikelike ʻia (2 ~ 6 ʻīniha) | ||
| Anawaena | 50.8 ± 0.1 mm | 100.0 ± 0.2 mm | 150.0 ± 0.3 mm |
| Mānoanoa | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
| Kūlana ʻIli | ʻO ka mokulele C (0001) ma waho o ke kihi i ke axis M (10-10) 0.2 ± 0.1° | ||
| C-plane (0001) ʻokoʻa ke kihi i ke axis A (11-20) 0 ± 0.1° | |||
| Kūlana Pālahalaha Mua | Papahele-A (11-20) ± 1.0° | ||
| Ka Lōʻihi Palahalaha Mua | 16.0 ± 1.0 mm | 30.0 ± 1.0 mm | 47.5 ± 2.0 mm |
| R-Mokulele | hola 9 | ||
| Hoʻopau ʻili mua | Hoʻolālā ʻia | ||
| Hoʻopau ʻili hope | SSP: Wili maikaʻi ʻia, Ra = 0.8-1.2um; DSP: ʻIli ʻia ʻo Epi, Ra <0.3nm | ||
| Māka Laser | ʻAoʻao hope | ||
| TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| KAKAUOHA | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| WARP | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| Hoʻokaʻawale ʻana i ka lihi | ≤2 mm | ||
| Kikoʻī Hoʻohālike | ʻAno Hoʻonohonoho | Dome, Cone, Pyramid | |
| Kiʻekiʻe o ke ʻano | 1.6 ~ 1.8μm | ||
| Anawaena Hoʻohālike | 2.75~2.85μm | ||
| Kahua Hoʻohālike | 0.1~0.3μm | ||
He loea ʻo XKH i ka hāʻawi ʻana i nā substrates sapphire patterned kiʻekiʻe (PSS) me ke kākoʻo loea a me ka lawelawe ma hope o ke kūʻai aku e kōkua i nā mea kūʻai aku e hoʻokō i ka hana hou ma ke kahua o LED, display a me optoelectronics.
1. Hoʻolako PSS kiʻekiʻe: Nā substrates sapphire i hoʻohālikelike ʻia i nā nui like ʻole (2 ", 4", 6") e hoʻokō i nā pono o nā LED, hōʻikeʻike a me nā hāmeʻa optoelectronic.
2. Hoʻolālā i hoʻopilikino ʻia: Hoʻopilikino i ka ʻano micro-nano o ka ʻili (e like me ke cone, pyramid a i ʻole ka hexagonal array) e like me nā pono o ka mea kūʻai aku e hoʻonui i ka pono o ka unuhi ʻana i ka mālamalama.
3. Kākoʻo loea: Hāʻawi i ka hoʻolālā noi PSS, ka hoʻonui ʻana i ke kaʻina hana a me ke kūkākūkā loea e kōkua i nā mea kūʻai aku e hoʻomaikaʻi i ka hana huahana.
4. Kākoʻo ulu epitaxial: Hāʻawi ʻia ʻo PSS i kūlike me ka mea epitaxial GaN e hōʻoia i ka ulu ʻana o ka papa epitaxial kiʻekiʻe.
5. Hoʻāʻo a me ka hōʻoia: Hāʻawi i ka hōʻike nānā maikaʻi PSS e hōʻoia i ka hoʻokō ʻana o nā huahana i nā kūlana o ka ʻoihana.
Kiʻikuhi kikoʻī
