ʻŌnaehana Hoʻonohonoho Wafer no ke Ana ʻana i ka Hoʻonohonoho Crystal
Hoʻolauna Lako
ʻO nā mea hana hoʻonohonoho wafer he mau mea hana pololei e pili ana i nā loina diffraction X-ray (XRD), i hoʻohana nui ʻia i ka hana semiconductor, nā mea optical, nā keramika, a me nā ʻoihana mea crystalline ʻē aʻe.
Hoʻoholo kēia mau mea hana i ke kuhikuhi ʻana o ka lattice kristal a alakaʻi i nā kaʻina hana ʻoki a wili pololei paha. ʻO nā hiʻohiʻona koʻikoʻi:
- Nā ana pololei kiʻekiʻe:Hiki ke hoʻonā i nā papa kristalo me nā hoʻonā angular a hiki i ka 0.001°.
- Ka kūlike o ka laʻana nui:Kākoʻo i nā wafers a hiki i 450 mm ke anawaena a me nā kaumaha o 30 kg, kūpono no nā mea e like me ka silicon carbide (SiC), sapphire, a me ka silicon (Si).
- Hoʻolālā modular:ʻO nā hana hiki ke hoʻonui ʻia e komo pū me ka loiloi piʻo lūlū, ka hoʻohālikelike ʻana i nā kīnā o ka ʻili 3D, a me nā hāmeʻa stacking no ka hana ʻana i nā ʻano laʻana he nui.
Nā Palena ʻenehana Koʻikoʻi
| Māhele Palena | Nā Waiwai/Hoʻonohonoho Maʻamau |
| Puna X-ray | ʻO Cu-Kα (kikowaena kikowaena 0.4 × 1 mm), 30 kV voltage wikiwiki, 0–5 mA au paipu hiki ke hoʻololi ʻia |
| Ka Pae Angular | θ: -10° a i +50°; 2θ: -10° a i +100° |
| Pololei | Hoʻonā kihi hiʻona: 0.001°, ʻike ʻana i nā kīnā o ka ʻili: ±30 arcseconds (piʻo lūlū) |
| Ka wikiwiki o ka nānā ʻana | Hoʻopau ka scan Omega i ka hoʻonohonoho piha ʻana o ka lattice i loko o 5 kekona; Lawe ʻo Theta scan i kahi minuke. |
| Kahua Laʻana | ʻO ke awāwa-V, ka omo pneumatic, ka wili ʻana o nā kihi he nui, kūpono me nā wafers 2-8-'īniha |
| Nā Hana Hiki ke Hoʻonui | Ka nānā ʻana i ke piʻo lūlū, ka palapala ʻāina 3D, ka hāmeʻa hoʻopili, ka ʻike ʻana i nā kīnā optical (nā ʻōpala, GBs) |
Kumu Hana
1. Kumu Hoʻokaʻawale Kukui X
- Hoʻopili nā kukuna X me nā nuclei atomika a me nā electrons i loko o ka lattice kristal, e hana ana i nā ʻano diffraction. Hoʻomalu ke Kānāwai o Bragg (nλ = 2d sinθ) i ka pilina ma waena o nā kihi diffraction (θ) a me ka spacing lattice (d).
Hopu nā mea ʻike i kēia mau mamana, kahi i kālailai ʻia e hana hou i ke ʻano crystallographic.
2. ʻEnehana ʻImi Omega
- Hoʻohuli mau ke aniani a puni kahi axis paʻa ʻoiai e hoʻomālamalama ana nā kukuna X iā ia.
- Hoʻiliʻili nā mea ʻike i nā hōʻailona diffraction ma nā mokulele crystallographic he nui, e hiki ai ke hoʻoholo piha i ka hoʻonohonoho lattice i loko o 5 kekona.
3. Ka Nānā ʻana i ke Kūlou ʻŌwili
- ʻO ke kihi kristal paʻa me nā kihi hanana X-ray like ʻole e ana i ka laulā kiʻekiʻe (FWHM), e loiloi ana i nā hemahema lattice a me ke kaumaha.
4. Mana Hoʻokele Hana ʻAkomi
- Hiki i nā pilina PLC a me ka touchscreen ke hoʻoikaika i nā kihi ʻoki i hoʻonohonoho mua ʻia, ka manaʻo manawa maoli, a me ka hoʻohui ʻana me nā mīkini ʻoki no ka mana pani-loop.
Nā Pōmaikaʻi a me nā Hiʻohiʻona
1. Ka Pololei a me ka Pono
- Pololei kihi ±0.001°, hoʻonā ʻike kīnā <30 arcseconds.
- ʻOi aku ka wikiwiki o ka scan Omega he 200× ʻoi aku ka wikiwiki ma mua o nā scan Theta kuʻuna.
2. Modularity a me Scalability
- Hiki ke hoʻonui ʻia no nā noi kūikawā (e laʻa, nā wafers SiC, nā lau turbine).
- Hoʻohui pū me nā ʻōnaehana MES no ka nānā ʻana i ka hana ʻana i ka manawa maoli.
3. Hoʻohālikelike a me ke kūpaʻa
- Hoʻokipa i nā hāpana ʻano ʻokoʻa (e like me nā ʻāpana sapeiro i haki).
- Hoʻemi ka hoʻolālā ea-anuanu i nā pono mālama.
4. Hana Akamai
- Hoʻoponopono hoʻokahi-kaomi a me ka hana ʻana i nā hana he nui.
- Hoʻoponopono ponoʻī me nā kristal kuhikuhi e hōʻemi i ka hewa kanaka.
Nā noi
1. Hana ʻana i nā mea hana semiconductor
- ʻO ke kuhikuhi ʻokiʻoki wafer: Hoʻoholo i nā kuhikuhi wafer Si, SiC, GaN no ka ʻoki ʻana i ka pono.
- Palapala ʻāina kīnā: Kuhi i nā ʻōpala o ka ʻili a i ʻole nā neʻe ʻana e hoʻomaikaʻi i ka hua o nā ʻāpana.
2. Nā Mea Maka
- Nā kristal nonlinear (e laʻa, LBO, BBO) no nā mea hana laser.
- Ka māka ʻilikai kuhikuhi wafer sapphire no nā substrates LED.
3. Nā Keramika a me nā Huihui
- Hoʻopili i ke kuhikuhi ʻana o ka palaoa ma Si3N4 a me ZrO2 no nā noi wela kiʻekiʻe.
4. Noiʻi a me ka Mana Hoʻomalu Kūlana
- Nā kulanui/nā keʻena hoʻokolohua no ka hoʻomohala ʻana i nā mea hou (e laʻa me nā mea hoʻohuihui entropy kiʻekiʻe).
- QC ʻoihana e hōʻoia i ke kūlike o ka puʻupuʻu.
Nā lawelawe a XKH
Hāʻawi ʻo XKH i ke kākoʻo loea piha no ke ola holoʻokoʻa no nā mea hana hoʻonohonoho wafer, me ke kau ʻana, ka hoʻonui ʻana i nā palena hana, ka nānā ʻana i ke piʻo rocking, a me ka palapala ʻāina kīnā 3D. Hāʻawi ʻia nā hoʻonā i hana kūikawā ʻia (e laʻa, ʻenehana hoʻopaʻa ingot) e hoʻonui i ka pono o ka hana semiconductor a me nā mea optical ma mua o 30%. Hana kahi hui i hoʻolaʻa ʻia i ka hoʻomaʻamaʻa ma kahi, ʻoiai ke kākoʻo mamao 24/7 a me ka hoʻololi wikiwiki ʻana i nā ʻāpana ʻokoʻa e hōʻoia i ka hilinaʻi o nā lako.
